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低真空分析走査電子顕微鏡

    低真空分析走査電子顕微鏡
    低真空分析走査電子顕微鏡
機器ID NR-206
分類 電子顕微鏡 > 光電子顕微鏡
装置名称 低真空分析走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microsope (SEM))
設置機関 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設置場所 奈良先端科学技術大学院大学物質棟
メーカー名 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番 SU6600
キーワード 表面ナノ構造観察
仕様・特徴 ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV
・分解能: 1.2 nm(2次電子像、加速電圧30 kV)
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・低真空機能搭載
機関代表メールアドレス naist-arim=ms.naist.jp ([=]を[@]にしてください)
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