低真空分析走査電子顕微鏡
設備ID | NR-206 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
装置名称 | 低真空分析走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microsope (SEM)) |
設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
型番 | SU6600 |
キーワード | 表面ナノ構造観察 |
仕様・特徴 | ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV ・分解能: 1.2 nm(2次電子像、加速電圧30 kV) ・EDS検出器搭載 ・EBSD検出器搭載 ・低真空機能搭載 |