走査透過電子顕微鏡(STEM)
設備ID | NR-204 |
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分類 | 透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡 |
装置名称 | 走査透過電子顕微鏡(STEM) (Scannning Transmission Electron Microscope (STEM)) |
設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
型番 | HD-2700 |
キーワード | ナノ材料観察 薄膜断面観察 結晶構造解析 |
仕様・特徴 | ・加速電圧: 200 kV、120 kV、80 kV ・球面収差補正装置搭載 ・分解能: 136 pm ・EDX検出器搭載 |