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表面X線回折計

    表面X線回折計
    表面X線回折計
機器ID QS-113
分類 放射光 > X線回折装置
回折・散乱 > X線回折装置
装置名称 表面X線回折計 (Surface X-ray diffractometer)
設置機関 量子科学技術研究開発機構(QST)
設置場所 SPring-8 BL11XU
メーカー名 神津精機(株)ほか (Kohzu Precision Co., Ltd., etc.)
型番 なし(特別仕様)
キーワード 結晶成長リアルタイム観察、半導体ナノワイヤ、半導体量子ドット、半導体多層膜
仕様・特徴 分子線エピタキシー(MBE)チェンバーを搭載した表面構造解析用X線回折計。半導体量子ドット結晶や多層膜、ナノワイヤなどの成長過程をX線回折によりその場観察・リアルタイム観察可能。2台のMBEを交換し、RF-MBEによるGaN、InNなどの窒化物半導体、また、GaAs、InAsなどのヒ素化合物の成長を行うことができる。
機関代表メールアドレス qst_arim=qst.go.jp ([=]を[@]にしてください)
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