表面X線回折計
| 機器ID | QS-113 |
|---|---|
| 分類 |
放射光 > X線回折装置 回折・散乱 > X線回折装置 |
| 装置名称 | 表面X線回折計 (Surface X-ray diffractometer) |
| 設置機関 | 量子科学技術研究開発機構（QST） |
| 設置場所 | SPring-8 BL11XU |
| メーカー名 | 神津精機（株）ほか (Kohzu Precision Co., Ltd., etc.) |
| 型番 | なし（特別仕様） |
| キーワード | 結晶成長リアルタイム観察、半導体ナノワイヤ、半導体量子ドット、半導体多層膜 |
| 仕様・特徴 | 分子線エピタキシー（MBE）チェンバーを搭載した表面構造解析用X線回折計。半導体量子ドット結晶や多層膜、ナノワイヤなどの成長過程をX線回折によりその場観察・リアルタイム観察可能。2台のMBEを交換し、RF-MBEによるGaN、InNなどの窒化物半導体、また、GaAs、InAsなどのヒ素化合物の成長を行うことができる。 |
| 機関代表メールアドレス | qst_arim=qst.go.jp ([=]を[@]にしてください) |