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ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 (Double Cs-corrected scanning transmission electron microscope )

メーカー名
日本FEI (FEI)
型番
Titan3 G2 60-300
設備画像
ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
・加速電圧:60kV-300kV
・TEM分解能:0.07nm、STEM分解能:0.07nm
・X-FEG電子銃
・モノクロメーター搭載
・照射系球面収差補正器
・結像系球面収差補正器
・Super-X EDS検出器
・Gatan GIF QuantumER分光器
・分析試料ホルダー、トモグラフィー試料ホルダー
・遠隔観察
・遠隔オペレーション

電界放射型分析電子顕微鏡 (Analytical FEG-TEM)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2010F
設備画像
電界放射型分析電子顕微鏡
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
・加速電圧:200kV
・TEM分解能:0.23nmn
・熱電界放出電子銃
・分析機能:EDS、EELS
・遠隔観察

マルチビーム超高圧電子顕微鏡 (Multi-Beam HVEM)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
ARM-1300
設備画像
マルチビーム超高圧電子顕微鏡
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
・加速電圧:1250kV
・TEM分解能:0.12nmn
・LaB6熱電子銃
・300K、400Kイオン加速器
・ナノ秒パルスレーザー
・He-Cd CWレーザー
・フェムト秒レーザー
・CCD分光器
・遠隔観察

精密イオン研磨装置 (PIPS)

メーカー名
ガタン (Gatan)
型番
PIPS Model 691
設備画像
精密イオン研磨装置
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
・イオン加速電圧:1 ~ 6 kV
・イオン入射角:最大±10°
・真空系:ターボ分子ポンプ(TMP)、ダイヤフラムポンプ(DP)
・使用ガス:G1アルゴンガス
・イオンビームモジュレーション機構
・液体窒素冷却装置
・TVカメラ

集束イオンビーム加工装置 (FIB)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-9320FIB
設備画像
集束イオンビーム加工装置
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
・イオン加速電圧:5 ~ 30 kV
・倍率:150(50)~300,000
・真空系:ターボ分子ポンプ(TMP)、ロータリーポンプ(RP)
・チップオンホルダー
・バルクホルダー
・ピックアップ装置
・遠隔観察装置

電界放射型走査電子顕微鏡 (Analytical FEG-SEM)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-7001FA
設備画像
電界放射型走査電子顕微鏡
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
・分解能:1.2nm (30kV)、3.0nm (1kV)
・加速電圧:0.5~30kV
・倍率:10 ~ 1,000,000
・EDS
・EBSD
・Cross Court
・CL

量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置 ( )

メーカー名
 ()
型番
設備画像
量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置
設置機関
北海道大学
仕様・特徴

X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JPS-9200
設備画像
X線光電子分光装置
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV(モノクロX線源)
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:30μmφ~3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い

オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JAMP-9500F
設備画像
オージェ電子分光装置
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
加速電圧:0.5~30kV、プローブ電流:10-11~2×10-7A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging

環境セル対応透過電子顕微鏡 (Transmission electron microscope for Environmental cell (E-TEM))

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2010
設備画像
環境セル対応透過電子顕微鏡
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
加速電圧:200kV
分析機能:EDS
環境セル加熱ホルダー装備
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