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デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 (Dual beam FIB-SEM)

設備ID
KU-012
設置機関
九州大学
設備画像
デュアルビーム微細加工電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Versa3D DualBeam
仕様・特徴
観察+FIB加工、マイクロサンプリング
設備状況
稼働中

キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM)

設備ID
KU-013
設置機関
九州大学
設備画像
キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Helios 5 Hydra DualBeam
仕様・特徴
イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析
設備状況
稼働中

Arイオン研磨装置群 (Sample milling / polishing facilities)

設備ID
KU-014
設置機関
九州大学
設備画像
Arイオン研磨装置群
メーカー名
Gatan、Fischione、日本電子 (Gatan、Fischione、JEOL)
型番
Gatan PIPSⅡ M 695、Fischione NanoMill Model1040、JEOL ION SLICER EM-09100IS
仕様・特徴
電子顕微鏡試料の調製
設備状況
稼働中

コーティング装置群 (Coating machine for nonconductive specimens)

設備ID
KU-015
設置機関
九州大学
設備画像
コーティング装置群
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEOL JFC-1600、JEOL EC-32010CC
仕様・特徴
電子顕微鏡試料の調製
設備状況
稼働中

低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 (Cryonenic analytical TEM)

設備ID
KU-016
設置機関
九州大学
設備画像
低温域観測型・高分解能電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM300F2
仕様・特徴
低温域での高分解能電顕観察、照射系・結像系の収差補正、EDS(158mm2 SDD) による高感度組成・状態分析電子線トモグラフィ、その場観察、電圧印加、加熱・冷却・ガス雰囲気、磁区観察、加速電圧:80, 200, 300 kV、電位・化学組成複合解析システム
設備状況
稼働中

XAFS/SAXS計測ビームライン (XAFS/SAXS Synchrotron Beamline)

設備ID
KU-017
設置機関
九州大学
設備画像
XAFS/SAXS計測ビームライン
メーカー名
専用装置(独自開発) ((original))
型番
専用装置(独自開発)
仕様・特徴
高輝度シンクロトロン光を利用した計測装置、硬X線
設備状況
稼働中

イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置 (Precise Sample Preparation and Analysis System Combining Ion Beam and Electron Beam)

設備ID
KU-018
設置機関
九州大学
設備画像
イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Helios 5 UX
仕様・特徴
FIBによる電顕試料の調製、モノクロメータSEMによる形態観察、EBSDによる方位解析、自動試料作製
設備状況
稼働中

汎用電子顕微鏡 (Conventional STEM/TEM)

設備ID
KU-019
設置機関
九州大学
設備画像
汎用電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F
仕様・特徴
組織観察、元素分析、電子解析図形収集の汎用機
設備状況
稼働中

雰囲気遮断加熱・冷却試料ホルダー (Atmosphere-shielded heating and cooling specimen holder)

設備ID
KU-020
設置機関
九州大学
設備画像
雰囲気遮断加熱・冷却試料ホルダー
メーカー名
メルビル (Mel-Build)
型番
Elecryo Vacuum Transfer Holder for JEOL 型式:2002-DTELCRTR-JE-23-KU
仕様・特徴
その場観察、加熱・冷却、大気非暴露で電子顕微鏡内に試料を挿入可能
設備状況
稼働中

クロスセクションポリッシャ (CROSS SECTION POLISHER)

設備ID
KU-021
設置機関
九州大学
設備画像
クロスセクションポリッシャ
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
IB-19530CP
仕様・特徴
ブロードArイオンビームによる断面加工・鏡面仕上げ加工(ハイスループット仕様)
低ダメージで大面積加工が可能、SEM観察やEBSD解析に最適
設備状況
稼働中
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