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ダイナミック光散乱光度計 (Dynamic Light Scattering Spectrophotometer)

設備ID
KT-314
設置機関
京都大学
設備画像
ダイナミック光散乱光度計
メーカー名
大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
型番
DLS-8000DH
仕様・特徴
・動的光散乱法
粒径分布、拡散係数分布を測定
・静的光散乱法
第二ビリアル係数・重量平均分子量・慣性半径の見積もり、重量平均分子量
・動的光散乱法:粒径分布、拡散係数分布測定
・静的光散乱法:第二ビリアル係数・重量平均分子量測定・慣性半径の見積もり

マイクロシステムアナライザ (Micro System Analyzer)

設備ID
KT-316
設置機関
京都大学
設備画像
マイクロシステムアナライザ
メーカー名
ポリテックジャパン(株) (Polytec)
型番
MSA-500-TPM2-20-D
仕様・特徴
MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)
および表面形状を3次元で測定
・MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)および表面形状を3次元で測定

プローバ (Prober)

設備ID
KT-317
設置機関
京都大学
設備画像
プローバ
メーカー名
(株)日本マイクロニクス (MICRONICS JAPAN CO., LTD.)
型番
Model 708fT
仕様・特徴
微小電流(fAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
・マニュアルタイプ
・ウエハサイズ ~Φ200mm

真空プローバ (Vacuum Probe System)

設備ID
KT-318
設置機関
京都大学
設備画像
真空プローバ
メーカー名
カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.)
型番
PLV50
仕様・特徴
Φ150mm基板まで対応できるマニュアルプローブシステム
(-40℃~+200℃過調制御可能)
・チャックサイズ:Φ150mm,Φ100mm,小片基板 ほか
・チャック温度:-40~+200℃
・真空チャンバー 制御圧力:10~10-2Pa

パワーデバイスアナライザ (Power Device Analyzer & Curve Tracer)

設備ID
KT-319
設置機関
京都大学
設備画像
パワーデバイスアナライザ
メーカー名
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
型番
B1505A
仕様・特徴
基本的にC17のプローバと組み合わせて使用する。(別のプローバ等を使用される場合は、要相談)
・IV測定 電流: 10 fA~1 A 電圧: 2μV~200 V

インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer)

設備ID
KT-320
設置機関
京都大学
設備画像
インピーダンスアナライザ
メーカー名
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
型番
4294A
仕様・特徴
アジレント・テクノロジー(株)社製 4294A
基本インピーダンス確度 ±0.08%
周波数 40Hz~110MHz
真空プローバ;カスケード・マイクロテック社製 PLV50
チャックサイズ:Φ150mm,Φ100mm,小片基板 ほか
チャック温度:-40~+200℃
真空チャンバー 制御圧力:10~10-2Pa

光ヘテロダイン微小振動測定装置 (Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer )

設備ID
KT-321
設置機関
京都大学
設備画像
光ヘテロダイン微小振動測定装置
メーカー名
ネオアーク(株) (NEOARK Corporation)
型番
MLD-230D-200K
仕様・特徴
ネオアーク(株)社製 MLD-230D-200K
測定方向 縦振動、横振動の方向を切り替えて測定
測定周波数 1kHz~200MHz

超微小材料機械変形評価装置 (Nano-Indenter)

設備ID
KT-322
設置機関
京都大学
設備画像
超微小材料機械変形評価装置
メーカー名
(株)エリオニクス (ELIONIX INC.)
型番
ENT-2100
仕様・特徴
用途:圧子を微小荷重で試料に押込み、押込み深さを連続的に測定することで、試料表面の力学的特性を評価する装置。
・最大試料サイズ Φ50x t3.5mm
・荷重範囲 1μN~100mN

セルテストシステム (Solar Cell Tester)

設備ID
KT-324
設置機関
京都大学
設備画像
セルテストシステム
メーカー名
Solartron社 (Solartron Analytical)
型番
1470E
仕様・特徴
英国ソーラトロン社製セルテストは、 インピーダンスアナライザ(1260型)と8チャンネルポテンショ/ガルバノスタット(1470E型)から構成されます。
様々な電気化学測定が最大8チャンネルまで独立測定が可能です。
各種電池、キャパシタなどエネルギーデバイスの伝導度測定、酸化還元電位測定、 インピーダンス測定による劣化解析などが可能です。
・インピーダンスアナライザと8チャンネルポテンショ/ガルバノスタットの構成
・8チャネル独立測定可能

卓上顕微鏡(SEM) (Tabletop SEM)

設備ID
KT-325
設置機関
京都大学
設備画像
卓上顕微鏡(SEM)
メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
型番
TM3000
仕様・特徴
簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。低真空観察法により、帯電しやすい試料でも金属コーティングをせず、そのまま観察ができます。
・倍率 15~30,000倍
・試料最大寸法 Φ70mm
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