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エリプソメータ (Film thickness measuring system)

設備ID
GA-012
設置機関
香川大学
設備画像
エリプソメータ
メーカー名
溝尻光学 (Mizojiri-opt)
型番
DHA-XA/M8
仕様・特徴
膜厚と屈折率を測定可能
処理物:~12インチウェハ 光源波長:632.8nm(He-Neレーザー)
入射角:55°~75°,90°
入射角設定単位:0.01°
最小分解能:1Å
分布計測分解能:0.01mm

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
GA-013
設置機関
香川大学
設備画像
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群
メーカー名
日本電子日本電子日本電子ディエナー (JEOLJEOLJEOLdiener)
型番
JSM-IT800SHLJCM-7000JFC-3000FCFemto
仕様・特徴
・JSM-IT800SHL
サンプルサイズ:~φ100mm
分解能:0.7nm(20kV)1.3nm(1kV)
倍率:×27~5,480,000(表示倍率)
加速電圧:0.01~30kV
分析機能:EDS
・JCM-7000
サンプルサイズ:~φ25mm(傾斜回転有)~φ80mm(傾斜回転無)
倍率:×10~100,000
加速電圧:5kV、10kV、15kV(3段)

白色干渉搭載レーザ顕微鏡 (White light interference type Laser Microscope)

設備ID
GA-014
設置機関
香川大学
設備画像
白色干渉搭載レーザ顕微鏡
メーカー名
キーエンス (KEYENCE)
型番
VK-X3100
仕様・特徴
倍率:×42~28,800
視野範囲:11?7398 μm
測定原理:レーザー共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉、分光干渉
レーザ光源波長:半導体レーザ404 nm
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