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共用設備検索結果
"広島大学"で検索した結果 53件
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- 設備ID
RO-111 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- エリオニクス (Elionix)
- 型番
- ELS-G100
- 仕様・特徴
- 加速電圧：100kV，50kV, 25kV
電子ビームの最小スポットサイズ：ビーム電流1nAにおいて2.0nm以下
最小線幅：6nm
- 設備ID
RO-112 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions, Inc.)
- 型番
- DL-1000
- 仕様・特徴
- DMDを用いたレーザー露光装置
最小画素：1μm
- 設備ID
RO-113 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- ハイデルベルグ・インストルメンツ (Heidelberg Instruments)
- 型番
- MLA-150
- 仕様・特徴
- DMDを用いたレーザー露光装置
最小画素：1μm
- 設備ID
RO-121 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- タツモ（株） (TAZMO)
- 型番
- 仕様・特徴
- レジスト塗布
- 設備ID
RO-131 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- Tanner (Tanner)
- 型番
- L-Edit
- 仕様・特徴
- リソグラフィマスク設計用レイアウトエディター
ＩＣ，ＭＥＭＳデバイス設計用ソフト。Tanner社L-Edit
- 設備ID
RO-211 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC, Inc.)
- 型番
- IM-200M
- 仕様・特徴
- 5keV-150keV, B, As, P, Si, F, Ar, In, Sb, N, He 等注入可能
- 設備ID
RO-221 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
- 型番
- 仕様・特徴
- 最高使用温度1150℃
- 設備ID
RO-222 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (Samco Inc.)
- 型番
- サムコ製 HT-1000
- 仕様・特徴
- 昇温速度最大200℃/s（N2, O2, Ar）
- 設備ID
RO-223 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
- 型番
- 370MI- MINI
- 仕様・特徴
- 最高使用温度1150℃
- 設備ID
RO-224 |
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
- 型番
- 370MI- MINI
- 仕様・特徴
- 最高使用温度1150℃
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