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二重収束型質量分析計 (double-focusing mass spectrometer)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JMS-700 Mstation
設備画像
二重収束型質量分析計
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・電子イオン化(EI) ・化学イオン化(CI) ・高速原子衝撃(FAB) ・磁場/電場二重収束

LC/TOFMS飛行時間型質量分析計 (liquid chromaography TOF MS)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JMS-T100LC AccuTOF
設備画像
LC/TOFMS飛行時間型質量分析計
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・エレクトロスプレーイオン化(ESI) ・飛行時間型

LC/TOFMS高分解能飛行時間型質量分析装置 (liquid chromaography TOF MS (DART/ESI/CSI/APCI))

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
AccuTOF LC-plus 4G, DART/ESI/CSI/APCI
設備画像
LC/TOFMS高分解能飛行時間型質量分析装置
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・エレクトロスプレーイオン化(ESI) ・大気圧イオン化(APCI) ・コールドスプレーイオン化(CSI) ・DART(Direct Analysis in real time) ・飛行時間型

マトリックス支援レーザーイオン化飛行時間型質量分析計 (MALDIi TOF MS)

メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
autoflexⅡ
設備画像
マトリックス支援レーザーイオン化飛行時間型質量分析計
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・マトリックス支援レーザー脱離イオン化(MALDI) ・飛行時間型

二次イオン質量分析装置 (Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS))

メーカー名
アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
型番
ADEPT-1010
設備画像
二次イオン質量分析装置
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・一次イオンビーム:セシウム(Cs+)、酸素(O2+
・加速電圧:500V~
・質量分析噐:四重極型
・絶縁物測定:帯電中和用電子銃
・元素分析:水素を含む全元素
・検出感度:ppm~ppb
・深さプロファイル:数十nm~数μm程度
・5軸ステージ:X, Y, Z, Tilt, Rotation

微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC )

メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
NE4000
設備画像
微小デバイス特性評価装置
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・加速電圧: 500 V ~ 30 kV
・分解能: 15nm(加速電圧2kV、WD_15mm)
・プローブユニット:4
・付属:半導体デバイス・アナライザ(B1500A)

分光感度・内部量子効率測定装置 (Solar Simulator)

メーカー名
分光計器 (BUNKOUKEIKI)
型番
CEP-2000RP
設備画像
分光感度・内部量子効率測定装置
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・波長範囲;300~1200nm
・単色照射面積:10×10mm

熱/電気物性評価装置 (Physical Property Measurement System (PPMS))

メーカー名
カンタムデザイン (Quantum Design)
型番
PPMS EverCoolⅡ
設備画像
熱/電気物性評価装置
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・熱特性:比熱測定(熱容量)、熱輸送測定(熱伝導率、ゼーベック係数、メリット係数(ZT))
・電気特性:電気輸送特性、直流抵抗
・温度:2K-400K
・高真空オプション:<10-5Torr

示差走査熱量計・示差熱熱重量同時測定装置 (TG-DSC)

メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)
型番
DSC 7000X/STA 7200
設備画像
示差走査熱量計・示差熱熱重量同時測定装置
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
[DSC7000X]
・測定方式: 熱流束型
・温度範囲: -150℃~725℃
・DSC測定範囲: ±100mW
・DSC感度: 0.1μW(200℃等温保持条件時)
[STA7200]
・天秤方式: デジタル水平作動型
・温度範囲: 室温~1100℃
・TG範囲: ±400mg(感度0.1μg)
・DTA範囲: ±1000μV(感度0.03μV)

分光エリプソメーター (Spectroscopic Ellipsometer)

メーカー名
堀場ージョバンイボン (HORIBA JOBIN YVON)
型番
UVISEL ER AGMS-NSD
設備画像
分光エリプソメーター
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・波長範囲: 0.6 eV 〜 6.0 eV(206 nm 〜2066 nm )
・スポット径: 約 5 mm * 2 mm
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