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i線ステッパ (i-line stepper)

設備ID
TU-063
設置機関
東北大学
設備画像
i線ステッパ
メーカー名
キヤノン (Canon)
型番
FPA-3030i5+
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
対応オリフラ(OF):4と6インチはOF(JEITA/SEMI)、8インチはノッチ
カセットtoカセット
波長:365nm
最小露光線幅:0.35μm以下
重ね合せ精度 :40nm
レチクル:6インチ(6025)
両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応

エリオニクス 130kV EB描画装置 (Elionix 130kV EB lithography)

設備ID
TU-064
設置機関
東北大学
設備画像
エリオニクス 130kV EB描画装置
メーカー名
エリオニクス (Elionix)
型番
ELS-G125S
仕様・特徴
最大加速電圧:130kV
最小描画線幅:10nm以下

ポリイミドキュア炉 (Curing oven)

設備ID
TU-066
設置機関
東北大学
設備画像
ポリイミドキュア炉
メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
DN43H
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
温度:最高350℃

UV キュア装置 (UV curing)

設備ID
TU-067
設置機関
東北大学
設備画像
UV キュア装置
メーカー名
ウシオ電機 (Ushio)
型番
UMA-802
仕様・特徴
サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット

球面露光装置 (Maskless exposure system for ball)

設備ID
TU-068
設置機関
東北大学
設備画像
球面露光装置
メーカー名
東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments)
型番
-
仕様・特徴
サンプル:球体(直径1.0、3.3mm)
最小パターン:1.5µmハーフピッチ
アライメント精度:±5µm

酸化炉 (Oxidation)

設備ID
TU-101
設置機関
東北大学
設備画像
酸化炉
メーカー名
東京エレクトロン (TEL)
型番
XL-7
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
ドライ酸化、ウェット酸化(パイロジェニック)

酸化炉(8) (Oxidation)

設備ID
TU-102
設置機関
東北大学
設備画像
酸化炉(8)
メーカー名
光洋サーモシステム (Koyo)
型番
MT-10×8-A
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
ドライ酸化、ウェット酸化(バブリング)
酸化温度:最大1050℃

拡散炉 (Diffusion)

設備ID
TU-103
設置機関
東北大学
設備画像
拡散炉
メーカー名
東京エレクトロン (TEL)
型番
XL-7
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

メタル拡散炉 (Metal diffusion furnace)

設備ID
TU-104
設置機関
東北大学
設備画像
メタル拡散炉
メーカー名
光洋リンドバーグ (Koyo)
型番
Model270
仕様・特徴
温度:最高1000℃

中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter)

設備ID
TU-105
設置機関
東北大学
設備画像
中電流イオン注入装置
メーカー名
日新イオン機器 (Nissin)
型番
NH-20SR
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~4インチ
カセットtoカセット
加速電圧:~160kV
最大電流:0.6mA
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