共用設備検索結果
i線ステッパ (i-line stepper)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- キヤノン (Canon)
- 型番
- FPA-3030i5+
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
対応オリフラ(OF)：4と6インチはOF(JEITA/SEMI)、8インチはノッチ
カセットtoカセット
波長：365nm
最小露光線幅：0.35μm以下
重ね合せ精度 ：40nm
レチクル：6インチ（6025）
両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応
エリオニクス 130kV EB描画装置 (Elionix 130kV EB lithography)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- エリオニクス (Elionix)
- 型番
- ELS-G125S
- 仕様・特徴
- 最大加速電圧：130kV
最小描画線幅：10nm以下
ポリイミドキュア炉 (Curing oven)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DN43H
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
温度：最高350℃
UV キュア装置 (UV curing)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ウシオ電機 (Ushio)
- 型番
- UMA-802
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4、6インチ
カセットtoカセット
球面露光装置 (Maskless exposure system for ball)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプル：球体（直径1.0、3.3mm）
最小パターン：1.5µmハーフピッチ
アライメント精度：±5µm
酸化炉 (Oxidation)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (TEL)
- 型番
- XL-7
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
ドライ酸化、ウェット酸化（パイロジェニック）
酸化炉(8) (Oxidation)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋サーモシステム (Koyo)
- 型番
- MT-10×8-A
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ドライ酸化、ウェット酸化（バブリング）
酸化温度：最大1050℃
メタル拡散炉 (Metal diffusion furnace)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋リンドバーグ (Koyo)
- 型番
- Model270
- 仕様・特徴
- 温度：最高1000℃
中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日新イオン機器 (Nissin)
- 型番
- NH-20SR
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～4インチ
カセットtoカセット
加速電圧：～160kV
最大電流：0.6mA