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光造形3Dプリンター  (Stereolithography 3D printer)

設備ID
TU-268
設置機関
東北大学
設備画像
光造形3Dプリンター
メーカー名
Seaforce (Seaforce)
型番
028J plus
仕様・特徴
最小積層ピッチ:0.01mm、最大造形サイズ:90mm x 90mm x 90mm

サブフェムト・インクジェット (Sub-femto inkjet)

設備ID
TU-267
設置機関
東北大学
設備画像
サブフェムト・インクジェット
メーカー名
SIJテクノロジー (SIJテクノロジー)
型番
PR150-THU
仕様・特徴
最小線幅:約5μm

セミオートワイヤボンダ (Semi-automatic wire bonder)

設備ID
TU-266
設置機関
東北大学
設備画像
セミオートワイヤボンダ
メーカー名
TPT (TPT)
型番
HB16
仕様・特徴
セミオート対応

エリオニクス 50kV EB描画装置 (Elionix 50kV EB lithography)

設備ID
TU-065
設置機関
東北大学
設備画像
エリオニクス 50kV EB描画装置
メーカー名
エリオニクス (Elionix)
型番
ELS-7500X
仕様・特徴
最大加速電圧:50kV

エッチングチャンバー (Draft chamber)

設備ID
TU-001
設置機関
東北大学
設備画像
エッチングチャンバー
メーカー名
アズワン (As one)
型番
PSH1200
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)

設備ID
TU-002
設置機関
東北大学
設備画像
有機ドラフトチャンバー
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

リン酸槽 (Draft chamber for SiN etching)

設備ID
TU-003
設置機関
東北大学
設備画像
リン酸槽
メーカー名
- (-)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

スピン乾燥機 (Spin dryer)

設備ID
TU-004
設置機関
東北大学
設備画像
スピン乾燥機
メーカー名
東邦化成 (Toho Kasei)
型番
ZAA-4
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ

4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)

設備ID
TU-005
設置機関
東北大学
設備画像
4スピン乾燥機
メーカー名
SEMITOOL (SEMITOOL)
型番
PSC101
仕様・特徴
カセット式で1度に25枚まで処理可能

6スピン乾燥機 (6 Spin dryer)

設備ID
TU-006
設置機関
東北大学
設備画像
6スピン乾燥機
メーカー名
SEMITOOL (SEMITOOL)
型番
PSC101
仕様・特徴
カセット式で1度に25枚まで処理可能
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