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大気中原子間力顕微鏡 (AFM)
- 設備ID
- JI-012
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- AFM5000II SPA-400
- 仕様・特徴
- 測定方式：光てこ方式
試料サイズ：最大直径35mmφ 最大厚み10mm
走査範囲：20μm
- 設備状況
- 稼働中
X線光電子分光装置 (XPS)
- 設備ID
- JI-013
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 島津クレートス (Shimadzu/Kratos)
- 型番
- AXIS- ULTRA DLD
- 仕様・特徴
- 測定可能元素 Li～U
X線源 Mg/Al 特性X線、AlKαモノクロメータX線
紫外光源：He放電管
最小プローブ 40μmφ
分析深さ 数nm
最大試料サイズ 100mm（X）×25mm（Y）×10mm（Z）
イメージング 空間分解能 3μm以下 元素像および化学状態像
深さ分析可能 エッチングイオン銃使用
傾斜分析可能 0～90°・紫外光分光分析（UPS）可能
- 設備状況
- 稼働中
大気中光電子分光装置 (PYS)
- 設備ID
- JI-014
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 理研計器 (RIKEN KEIKI)
- 型番
- AC-2
- 仕様・特徴
- 大気中試料のイオン化エネルギー測定可能
検知範囲：3.4-6.2eV
- 設備状況
- 稼働中
正・逆光電子分光装置 (PYS+IPES)
- 設備ID
- JI-015
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- テックサイエンス (TECH SCIENCE)
- 型番
- PYS-200+IPES
- 仕様・特徴
- -現在利用停止中-（故障中で復帰の目途が立っておりません）
PYS-200
測定エネルギー：4-9 eV
分解能：20 meV
測定領域：2 mmφ
IPES
測定エネルギー：5-50 eV
分解能：0.3 eV
測定領域：1 mmφ
大気非曝露試料搬送
露点管理された専用グローブボックス内N2雰囲気下にてシャトルチャンバー内基板ホルダーに試料をセットし、 シャトルチャンバーを分光装置に連結、排気することで試料の大気非曝露搬送が可能。
- 設備状況
- 稼働中
電界電離ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置 (GFIS-FIB)
- 設備ID
- JI-016
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- MR-GFIS
- 仕様・特徴
- N2イオンビームによる低汚染のFIB加工
最少加工幅：約10nm
- 設備状況
- 稼働中
クリーンルーム微細加工装置群 (clean room facility)
- 設備ID
- JI-017
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- EBL(30kV, 50kV)、マスクレス露光機(405nm, 375nm)、抵抗加熱蒸着、EB蒸着、RFスパッタ、ECRスパッタ、ALD、MBE、RIE、イオン注入、赤外ランプアニールなど
- 設備状況
- 稼働中
工作室加工成形装置群 (machine shop)
- 設備ID
- JI-018
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- 各種工作機械（主なものは下記）
マシニングセンター
ワイヤー放電加工機
旋盤
レーザー加工機
3Dプリンタ
その他
- 設備状況
- 稼働中
フーリエ変換イオンサイクロトロン共鳴質量分析計 (FT-ICR MS)
- 設備ID
- JI-019
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカーダルトニクス (Bruker Daltonics )
- 型番
- scimaX
- 仕様・特徴
- 磁場型質量分析装置
磁場強度；7 T
最大分解能：2000万以上
観測質量範囲：通常の設定では m/z 50 - 10000
試料の量：pmol - fmol order
イオン化モード：Positive、Negative
イオン源：ESI、MALDI、APPI、APCI
MS/MS方式：CID、ETD、ECD
MALDIイメージング分析対応可
TMスプレイヤー利用可
SCiLS Labイメージングソフトウェア利用可
MALDIイメージングサンプル作製用ミクロトーム利用可
- 設備状況
- 稼働中