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大気中原子間力顕微鏡 (AFM)

設備ID
JI-012
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
大気中原子間力顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
型番
AFM5000II SPA-400
仕様・特徴
測定方式:光てこ方式
試料サイズ:最大直径35mmφ 最大厚み10mm
走査範囲:20μm
設備状況
稼働中

X線光電子分光装置 (XPS)

設備ID
JI-013
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
X線光電子分光装置
メーカー名
島津クレートス (Shimadzu/Kratos)
型番
AXIS- ULTRA DLD
仕様・特徴
測定可能元素 Li~U
X線源 Mg/Al 特性X線、AlKαモノクロメータX線
紫外光源:He放電管
最小プローブ 40μmφ
分析深さ 数nm
最大試料サイズ 100mm(X)×25mm(Y)×10mm(Z)
イメージング 空間分解能 3μm以下 元素像および化学状態像
深さ分析可能 エッチングイオン銃使用
傾斜分析可能 0~90°・紫外光分光分析(UPS)可能
設備状況
稼働中

大気中光電子分光装置 (PYS)

設備ID
JI-014
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
大気中光電子分光装置
メーカー名
理研計器 (RIKEN KEIKI)
型番
AC-2
仕様・特徴
大気中試料のイオン化エネルギー測定可能
検知範囲:3.4-6.2eV
設備状況
稼働中

正・逆光電子分光装置 (PYS+IPES)

設備ID
JI-015
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
正・逆光電子分光装置
メーカー名
テックサイエンス (TECH SCIENCE)
型番
PYS-200+IPES
仕様・特徴
-現在利用停止中-(故障中で復帰の目途が立っておりません)

PYS-200
測定エネルギー:4-9 eV
分解能:20 meV
測定領域:2 mmφ

IPES
測定エネルギー:5-50 eV
分解能:0.3 eV
測定領域:1 mmφ

大気非曝露試料搬送
露点管理された専用グローブボックス内N2雰囲気下にてシャトルチャンバー内基板ホルダーに試料をセットし、 シャトルチャンバーを分光装置に連結、排気することで試料の大気非曝露搬送が可能。
設備状況
稼働中

電界電離ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置 (GFIS-FIB)

設備ID
JI-016
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
電界電離ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置
メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
型番
MR-GFIS
仕様・特徴
N2イオンビームによる低汚染のFIB加工
最少加工幅:約10nm
設備状況
稼働中

クリーンルーム微細加工装置群 (clean room facility)

設備ID
JI-017
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
クリーンルーム微細加工装置群
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
EBL(30kV, 50kV)、マスクレス露光機(405nm, 375nm)、抵抗加熱蒸着、EB蒸着、RFスパッタ、ECRスパッタ、ALD、MBE、RIE、イオン注入、赤外ランプアニールなど
設備状況
稼働中

工作室加工成形装置群 (machine shop)

設備ID
JI-018
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
工作室加工成形装置群
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
各種工作機械(主なものは下記)
マシニングセンター
ワイヤー放電加工機
旋盤
レーザー加工機
3Dプリンタ
その他
設備状況
稼働中

フーリエ変換イオンサイクロトロン共鳴質量分析計 (FT-ICR MS)

設備ID
JI-019
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
フーリエ変換イオンサイクロトロン共鳴質量分析計
メーカー名
ブルカーダルトニクス (Bruker Daltonics )
型番
scimaX
仕様・特徴
磁場型質量分析装置
磁場強度;7 T
最大分解能:2000万以上
観測質量範囲:通常の設定では m/z 50 - 10000
試料の量:pmol - fmol order
イオン化モード:Positive、Negative
イオン源:ESI、MALDI、APPI、APCI
MS/MS方式:CID、ETD、ECD
MALDIイメージング分析対応可
TMスプレイヤー利用可
SCiLS Labイメージングソフトウェア利用可
MALDIイメージングサンプル作製用ミクロトーム利用可
設備状況
稼働中
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