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リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )

メーカー名: (1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII（現・日立ハイテクサイエンス） ((1) RSPM1: JEOL, (2) RSPM2: SII (Hitachi Hitech Scinece))

型番: (1) RSPM1:日本電子(JEOL)社製JSPM5400、(2) RSPM2:SIIナノテクノロジー（現・日立ハイテクサイエンス）社E-SWEEP/S-Image

仕様・特徴: (1) RSPM1
原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: JEOL JSPM5400、E-SWEEP他
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、FM-AFM、コンタクトモード、STM、KPFM、EFM
・測定環境: 大気中、液中、真空中(10^-5 [Torr])、超高真空(10^-10 [Torr]、使用機能に制限あり)
・温度範囲: 室温～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大300 mmウエハー（測定手法によっては寸法（1mm角等）や厚さの制限有）
・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム）

(2) RSPM2
SIIナノテクノロジ S-ImageおよびE-SWEEP
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10^-5[Torr])
・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大15 mm角程度

前処理装置等
・標準試料: 探針評価、スケール、段差等
・研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト

メーカー名: (1) 固体NMR装置（600MHz）: ブルカー・ジャパン（株）バイオスピン事業部、(2) 固体NMR装置（200MHz）: ブルカー・ジャパン（株）バイオスピン事業部、(3) 固体NMR装置（20MHz）：ブルカー・ジャパン（株）バイオスピン事業部 ((1) Solid-State Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer（600MHz）: Bruker Biospin, (2) Solid-State Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer（200MHz）: Bruker Biospin, (3) Solid-State Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer（20MHz）・Bruker Biospin)

型番: (1) 固体NMR装置（600MHz）: Bruker社製Avance III HD 600WB、(2) 固体NMR装置（200MHz）: Bruker社製Avance 200WB、(3) 固体NMR装置（20MHz）・Bruker社製 minispec mq20

仕様・特徴: (1) Bruker 社製Avance III HD 600WB
・磁場強度: 14.1テスラ（¹H共鳴周波数： 600 MHz）
・固体高分解能測定、二次元測定、緩和時間測定、拡散係数測定に対応。
・測定可能温度: 広幅測定時 -120～200℃

(2) Bruker社製Avance 200WB
・磁場強度: 4.7テスラ（¹H共鳴周波数： 200 MHz）
・広幅測定および¹³C固体高分解能測定、二次元測定、緩和時間測定に対応。
・測定可能温度: 広幅測定時 -120～200℃

(3) Bruker社製 minispec mq20
・磁場強度: 0.47テスラ(¹H共鳴周波数: 20 MHz)
・プロトン(軽水素)測定に使用。緩和時間測定、磁場勾配法による拡散係数測定にも対応
・測定可能温度: 広幅測定時 -120～200℃

仕様・特徴: 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。

・蛍光X線エネルギー範囲：100eV-2keV
・エネルギー分解能：～7 eV@400 eV X-ray
・計数率：200 kcps
・走査型電子顕微鏡：HITACHI S-4500
・加速器電圧範囲：500V-30kV
・最大サンプルサイズ：1インチ
・電子ビームサイズ（最適値）：3.5nm at 30 kV, 25 nm at 1kV
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能