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Zygo Nexview (Zygo Nexview)

設備ID
TU-326
設置機関
東北大学
設備画像
Zygo Nexview
メーカー名
Zygo (Zygo)
型番
Nexview
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

ラマン顕微鏡 (Raman microscope)

設備ID
NM-003
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
ラマン顕微鏡
メーカー名
レニショー (Renishaw)
型番
inVia Reflex
仕様・特徴
・ラインレーザー照射による高速ラマンイメージング。
・繋ぎ目のない連続した広い波数範囲のスペクトル測定。
・共焦点機構による高い空間分解能。
・レーザー波長:532nm及び785nm
・波数分解能:0.3cm-1
・空間分解能:水平0.25µm、垂直1µm
・対物レンズ:5倍、20倍、50倍、63倍(水浸)、100倍
・温度制御:-196~600℃

レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] (Laser Microscope [LEXT OLS4000])

設備ID
NM-623
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
メーカー名
オリンパス (OLYMPUS)
型番
LEXT OLS4000
仕様・特徴
・用途:非接触3次元形状観察
・計測・光源:405nm半導体レーザー
・分解能:XY:0.12μm/Z:0.01μm
・繰り返し性:XY:3σ=0.02μm,/Z:1σ=0.012μm(対物レンズ100倍時)
・観察モード:レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ:100mm角以下

ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)

設備ID
TU-301
設置機関
東北大学
設備画像
ウェハゴミ検査装置
メーカー名
トプコン (Topcon)
型番
WM-3
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
カセットtoカセット

金属顕微鏡 (Microscope)

設備ID
TU-307
設置機関
東北大学
設備画像
金属顕微鏡
メーカー名
ニコン (Nikon)
型番
L150、L200
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
画像ファイル取得可

デジタル顕微鏡 (Digital microscope)

設備ID
TU-308
設置機関
東北大学
設備画像
デジタル顕微鏡
メーカー名
キーエンス/クノーテクノクラフト (Keyence/Kunoh)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
レンズ:20~200倍、500~5000倍
画像ファイル取得可
自動ステージ(PC制御)付

赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)

設備ID
TU-309
設置機関
東北大学
設備画像
赤外線顕微鏡
メーカー名
オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

レーザ/白色共焦点顕微鏡 (Laser/white light confocal microscope)

設備ID
TU-310
設置機関
東北大学
設備画像
レーザ/白色共焦点顕微鏡
メーカー名
レーザーテック (Lasertec)
型番
OPTELICS HYBRID LS-SD
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
レーザ光/白色の切替可能
共焦点/非共焦点の切替可能
自動ステージ付

深さ測定装置 (Depth measurement)

設備ID
TU-311
設置機関
東北大学
設備画像
深さ測定装置
メーカー名
ユニオン光学 (Union)
型番
Hisomet
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

3D測定レーザー顕微鏡 (3D Measuring Laser Microscope )

設備ID
KT-306
設置機関
京都大学
設備画像
3D測定レーザー顕微鏡
メーカー名
オリンパス(株) (Olympus Corporation)
型番
OLS4000-SAT
仕様・特徴
オリンパス(株)社製 OLS4000-SAT
平面測定精度 繰り返し性:3σn-1=0.02μm(100X)
正確さ:測定値の±2%
高さ測定精度 繰り返し性:σn-1=0.012μm(50X)
正確さ:0.2+L/100μm以下(L=測定長μm)
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