共用設備検索結果
ラマン顕微鏡 (Raman microscope)
- メーカー名
- レニショー (Renishaw)
- 型番
- inVia Reflex
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・ラインレーザー照射による高速ラマンイメージング。
・繋ぎ目のない連続した広い波数範囲のスペクトル測定。
・共焦点機構による高い空間分解能。
・レーザー波長：532nm及び785nm
・波数分解能：0.3cm-1
・空間分解能：水平0.25µm、垂直1µm
・対物レンズ：5倍、20倍、50倍、63倍(水浸)、100倍
・温度制御：-196～600℃
３次元測定レーザー顕微鏡 (3D Laser Microscope)
- メーカー名
- オリンパス (OLYMPUS)
- 型番
- LEXT OLS4000
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途：非接触3次元形状観察
・計測・光源：405nm半導体レーザー
・分解能：XY：0.12μm／Z：0.01μm
・繰り返し性：XY：3σ=0.02μm,／Z：1σ=0.012μm（対物レンズ100倍時）
・観察モード：レーザー観察，白色光明視野，微分干渉観察
・試料サイズ：100mm角以下
ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
- メーカー名
- トプコン (Topcon)
- 型番
- WM-3
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
カセットtoカセット
デジタル顕微鏡 (Digital microscope)
- メーカー名
- キーエンス／クノーテクノクラフト (Keyence/Kunoh)
- 型番
- -
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
レンズ：20～200倍、500～5000倍
画像ファイル取得可
自動ステージ（PC制御）付
赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)
- メーカー名
- オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
- 型番
- -
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
レーザ／白色共焦点顕微鏡 (Laser/white light confocal microscope)
- メーカー名
- レーザーテック (Lasertec)
- 型番
- OPTELICS HYBRID LS-SD
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
レーザ光／白色の切替可能
共焦点／非共焦点の切替可能
自動ステージ付
3D測定レーザー顕微鏡 (3D Measuring Laser Microscope )
- メーカー名
- オリンパス(株) (Olympus Corporation)
- 型番
- OLS4000-SAT
- 設備画像
- 設置機関
- 京都大学
- 仕様・特徴
- オリンパス(株)社製 OLS4000-SAT
平面測定精度 繰り返し性：3σn-1=0.02μm(100X)
正確さ:測定値の±2%
高さ測定精度 繰り返し性：σn-1=0.012μm(50X)
正確さ:0.2+L/100μm以下（L=測定長μm）