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インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer)

設備ID
KT-320
設置機関
京都大学
設備画像
インピーダンスアナライザ
メーカー名
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
型番
4294A
仕様・特徴
アジレント・テクノロジー(株)社製 4294A
基本インピーダンス確度 ±0.08%
周波数 40Hz~110MHz
真空プローバ;カスケード・マイクロテック社製 PLV50
チャックサイズ:Φ150mm,Φ100mm,小片基板 ほか
チャック温度:-40~+200℃
真空チャンバー 制御圧力:10~10-2Pa

光ヘテロダイン微小振動測定装置 (Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer )

設備ID
KT-321
設置機関
京都大学
設備画像
光ヘテロダイン微小振動測定装置
メーカー名
ネオアーク(株) (NEOARK Corporation)
型番
MLD-230D-200K
仕様・特徴
ネオアーク(株)社製 MLD-230D-200K
測定方向 縦振動、横振動の方向を切り替えて測定
測定周波数 1kHz~200MHz

セルテストシステム (Solar Cell Tester)

設備ID
KT-324
設置機関
京都大学
設備画像
セルテストシステム
メーカー名
Solartron社 (Solartron Analytical)
型番
1470E
仕様・特徴
英国ソーラトロン社製セルテストは、 インピーダンスアナライザ(1260型)と8チャンネルポテンショ/ガルバノスタット(1470E型)から構成されます。
様々な電気化学測定が最大8チャンネルまで独立測定が可能です。
各種電池、キャパシタなどエネルギーデバイスの伝導度測定、酸化還元電位測定、 インピーダンス測定による劣化解析などが可能です。
・インピーダンスアナライザと8チャンネルポテンショ/ガルバノスタットの構成
・8チャネル独立測定可能

高周波伝送特性測定装置 (Manual Prober)

設備ID
KT-326
設置機関
京都大学
設備画像
高周波伝送特性測定装置
メーカー名
(株)アポロウエーブ (APOLLOWAVE Corporation)
型番
α150
仕様・特徴
(株)アポロウエーブ社製 α150
チャックサイズ6インチ(室温~300℃)
プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm
RFプローブキット
ネットワークアナライザ
半導体パラメータアナライザ

RFプローブキット (RF Microwave Probe Kit)

設備ID
KT-327
設置機関
京都大学
設備画像
RFプローブキット
メーカー名
カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.)
型番
ZPROBE
仕様・特徴
高周波対応のプローブ針。
・特性インピーダンス:50Ω
・周波数:DC~40GHz
・RF出力:MAX 5W@40GHz
・DC電流:MAX 1.5A
・DC電圧:MAX 100V
・ピッチ:250μm

ネットワークアナライザ (Vector Network Analyzer)

設備ID
KT-328
設置機関
京都大学
設備画像
ネットワークアナライザ
メーカー名
ローデ・シュワルツ・ジャパン(株) (ROHDE & SCHWARZ)
型番
ZVB14
仕様・特徴
測定可能周波数:10kHz~14GHz

半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)

設備ID
KT-329
設置機関
京都大学
設備画像
半導体パラメータアナライザ
メーカー名
ケースレーインスツルメンツ(株) (Keithley Instruments, Inc.)
型番
4200-SCS
仕様・特徴
最大200V印加、電流上限:2W/印加
電流最小分解能:0.1fA

強誘電体特性評価システム (Piezoelectric Properties Evaluation System)

設備ID
KT-330
設置機関
京都大学
設備画像
強誘電体特性評価システム
メーカー名
㈱東陽テクニカ (TOYO Corporation)
型番
FCE-3
仕様・特徴
㈱東陽テクニカ社製FCE-3
分極 ヒステリシス測定、誘電率測定
測定温度範囲20℃~500℃

接触式シート抵抗測定器 (4 Point Probe Sheet Resistance Measurement System)

設備ID
KT-331
設置機関
京都大学
設備画像
接触式シート抵抗測定器
メーカー名
ナプソン(株) (NAPSON CORPORATION)
型番
Cresbox
仕様・特徴
ナプソン株式会社 Cresbox
4探針法、10m~10MG/sq、2~8インチウェハ対応
マッピングソフトウェア

ナノ炭素燃料電池評価装置群 (Fuel cell evaluation systems)

設備ID
KU-517
設置機関
九州大学
設備画像
ナノ炭素燃料電池評価装置群
メーカー名
東陽テクニカマイクロトラック・ベル (TOYO MICROTRAC MRB)
型番
AutoPEM-ER02AutoPEM-ER01BELSORP-miniⅡBELSORP-maxBELCAT-B
仕様・特徴
【自動CV型燃料電池評価システム、燃料電池評価システム】
・燃料供給装置H2ガス1000 Ncc/min ~、Air 2000 Ncc/min~)
・DC分極電圧5 V~、電流±2 A~、自動電圧スイープ6 mV~60 V/min
・測定分解能:電流~1pA,電圧~1μV
【付帯装置:高精度ホットプレス SA-501テスター産業】

【触媒活性表面測定システム:BELSORP-miniⅡ、触媒分析装置 BELCAT-B】
・定容量式窒素ガス吸着法
・ 最大3検体同時測定(1つは参照)
・(比表面積:0.01 m2/g~、細孔径分布0.7~200 nm)
・解析プログラム:吸着等温線、BET比表面積自動解析、tプロット法等
・圧力計5台、0~133kPa、±0.25%
・圧力分解能 4Pa
・流通法 (室温~1200 ℃) TCD検出器
【ガス吸着装置BELSORP-max-12-SP】
・定容量式ガス吸着法
・最大3検体同時測定
・比表面積:0.01 m2/g ~ (N2)
・細孔径分布:0.35 - 500 nm
・N2、CO2、その他の非腐食性ガス
・解析プログラム:吸着等温線、BET比表面積自動解析、tプロット法等
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