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IRエミッション顕微鏡 (IR Emission Microscope)
- 設備ID
- BA-017
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- 浜松ホトニクス / TNSシステムズ / 東機通商 (Hamamatsu Photonics K.K. / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd)
- 型番
- THEMOS-1000
- 仕様・特徴
- 半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡。赤外線画像の観測により、発熱分布（温度分布）の検出や、電流リーク箇所の同定が可能。発熱分布の時間依存性計測により、温度の時間的な広がりが観測可能。パワーデバイス特性評価装置B1505Aと組み合わせることでプローバーとして利用可能。
検出波長：3.7μm～5.1μm
最大視野：3cm × 2cm
最小視野：0.7mm × 0.7mm
最小空間分解能：2.8μm
雑音等価温度差：25mK
時間分解能：3μsec.
ステージ温度：室温～200℃
- 設備状況
- 稼働中
磁気光学効果評価装置 (Evaluation appratus for magneto-optic effect)
- 設備ID
- IT-031
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- プレサイスゲージ サンテック FiberPro アドバンテスト ネオアーク 等のメーカー (Precise Gauges Santech FiberPro Advantest Neoark and other manufacturers)
- 型番
- PGAL-1005 TSL-510 CLS-561 Q8384 BH-762P-TIT
- 仕様・特徴
- プレサイスゲージ社製導波路調芯装置/サンテック社製波長可変光源（波長1500～1680nm）/FiberPro社製ASE光源（~20dBm）/アドバンテスト社製光スペクトラムアナライザ（波長分解能0.01nm）による光導波路試料の磁気光学効果の測定
ファラデー回転測定装置（波長1550nm、最大磁場~1.6T：面直）/ネオアーク社製磁気カー偏光顕微鏡（対物レンズ50倍、最大磁場~0.1T：面内）による薄膜試料の磁気光学効果の測定
- 設備状況
- 稼働中
東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober)
- 設備ID
- IT-035
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
- 型番
- PrecioNanoPV00043
- 仕様・特徴
- 150mm, 200mm, 300mmウェハ対応プローバー
多数枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静特性測定
- 設備状況
- 稼働中
FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober)
- 設備ID
- IT-036
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- FormFactor (FormFactor)
- 型番
- CM300
- 仕様・特徴
- チップ~ 300mmウェハ対応プローバー
単枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静/動特性測定
- 設備状況
- 稼働中
超音波顕微鏡 (Ultrasonic microscope)
- 設備ID
- TU-312
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- インサイト (Insight)
- 型番
- IS-350
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～300mm角
反射測定、透過測定の両方可
超音波周波数：10MHz、15MHz、25MHz、35MHz、50MHz、110MHz、200MHz
- 設備状況
- 稼働中
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