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クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps)
- 設備ID
- UT-800
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- 化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」
クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、
クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台。
全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。
窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。
- 設備状況
- 稼働中
イナートガスオーブン (Inert Gas Oven)
- 設備ID
- UT-801
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋サーモシステム (Koyo Thermo Systems)
- 型番
- INH-9CD
- 仕様・特徴
- 窒素ガスを導入して、窒素雰囲気でプログラムした通りにベークできる電気炉。600℃まで昇温可能。残留ガス濃度20ppm (カタログスペック)
- 設備状況
- 稼働中
高速ランプアニール装置 (Lamp Annealer)
- 設備ID
- UT-802
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 米倉製作所 (YONEKURA MFG)
- 型番
- MS-HP2-9
- 仕様・特徴
- φ3inchまで（条件によってφ4inchまで可能）。大気および窒素雰囲気。昇温速度200℃/minまで、到達温度1000℃まで可能。
- 設備状況
- 稼働中
サンドブラスト (Sandblasting Machine)
- 設備ID
- UT-803
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 不二製作所 (Fuji Manufacturing)
- 型番
- 仕様・特徴
- クリーンルーム対応装置。アルミナ粉末によってブラスト加工ができます
- 設備状況
- 稼働中
UVオゾンクリーナー (UV ozone cleaner)
- 設備ID
- UT-804
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- UV-1
- 仕様・特徴
- レジスト等のアッシング処理が可能
- 設備状況
- 稼働中
プラズマ表面改質装置 (Plasama Surface Modificaton Equipment)
- 設備ID
- UT-805
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- AQ-50
- 仕様・特徴
- 特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。
- 設備状況
- 稼働中
拡散炉 (Diffusion furnace)
- 設備ID
- UT-806
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェイテクト(旧光洋サーモシステム(株)) (JTEKT(formaly Koyo Thermosystem))
- 型番
- MT-2-8X32-A
- 仕様・特徴
- ポロンの熱拡散が可能。
最高温度1150℃
- 設備状況
- 稼働中
酸化炉 (Oxidation furnace)
- 設備ID
- UT-807
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェイテクト(旧光洋サーモシステム(株)) (JTEKT(formaly Koyo Thermosystem))
- 型番
- MT-2-8X32-AS
- 仕様・特徴
- シリコン基板の熱酸化膜を作製できる。
最高温度1150℃
- 設備状況
- 稼働中
アニール炉 (Anneal funace)
- 設備ID
- UT-808
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェイテクト(旧光洋サーモシステム(株)) (JTEKT(formaly Koyo Thermosystem))
- 型番
- MT-2-8X32-AS
- 仕様・特徴
- 試料の熱処理ができる。
最高温度1150℃
- 設備状況
- 稼働中
一般用ドラフトチャンバー (Fume hood)
- 設備ID
- UT-809
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- エスコライフサイエンス (Esco Lifesciences)
- 型番
- Fronrier Acela
- 仕様・特徴
- 各種科学実験用のドラフトチャンバーです。
・三重壁構造高性能排気フード 。5°傾斜前面サッシュデザイン。 0.3 m/sの表面風速で封じ込め。
- 設備状況
- 稼働中