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微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer(XRF))

メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)
型番
SEA_5210A
設備画像
微小部蛍光X線分析装置
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:SEA_5210A
・試料サイズ: 80mm, 35mmt(上面照射方式)
・分析元素:Na~U
・試料形態:固形、薄膜(液及び粉は要許可)
・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ
・雰囲気:大気、真空
・ソフトウエア:定性分析、定量分析(FP法、検量線法)、薄膜分析(膜厚、組成)、元素マッピング

エックス線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))

メーカー名
島津製作所 (SHIMADZU)
型番
KRATOS ANALYTICAL
設備画像
エックス線光電子分光分析装置(XPS)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:KRATOS ANALYTICAL
・試料サイズ: 100 mmφ、, 高さ10mm (専用ホルダ使用で約20mm迄可)
・X線源:Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα (1486.6 eV)
・光電子分光器:軌道半径165mm 静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
・検出器:ディレイラインディテクター(DLD)システム
・スペクトル分析:100チャネル同時計測
・イメージング:256×256画素(最大分解能3μm)
・最小スペクトル分析面積:15μmΦ
・エネルギ分解能:0.48 eV以下(Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅)
・帯電中和 均一低エネルギー電子照射
・光電子取り出し角度:垂直(標準)、0~90°(傾斜観察ホルダ使用)
* 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
・エッチングイオン銃:Ar、多原子(コロネンC24H12 )イオン
・搭載オプション:He紫外線光源(UPS用 21.2, 40.2 eV)

原子層堆積装置_3付帯XPS装置(アルバック・ファイ) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))

メーカー名
アルバック・ファイ (ULVAC-PHI,)
型番
Quantera II
設備画像
原子層堆積装置_3付帯XPS装置(アルバック・ファイ)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:Quantera II
・試料サイズ:4インチφ
・X線源:単色化Al kα(ローランド直径 200 mm)
・光電子分光器:静電半球型(軌道直径279.4 mm)
・検出器:マルチチャネル検出器 (32 ch)
・スペクトル分析:0~1467 eV
・イメージング:最小ビーム径7.5μm, 最大走査範囲1.4 mmx1.4 mmのSXIイメージング
・最小スペクトル分析面積:7.5μmφ (20% - 80% knife edge法)
・エネルギ分解能:0.48 eV(Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅)
・帯電中和:10 eV以下電子と5~10 eV Arイオン同時照射
・光電子取り出し角度:45°(標準)

陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) (Positron Probe MicroAnalyzer (PPMA))

メーカー名
産総研自主開発 (AIST Original)
型番
設備画像
陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
電子の反粒子である陽電子のマイクロビームを作り、物質中の陽電子寿命のマッピング測定を行う装置。
原子が1個抜けた原子空孔、ナノボイドのサイズ、分布の評価が可能。
・陽電子源 : 電子加速器対生成方式
・陽電子ビーム径 : 0.01 mm ~ 10 mm
・陽電子ビームエネルギー : 1-30 keV
・寿命測定時間分解能 : 200-300 ps

可視-近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) (Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer (VITA))

メーカー名
(1) ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置:産総研自主開発、(2) ナノ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置:産総研自主開発、(3) ピコ秒可視蛍光寿命計測装置:産総研自主開発、(4) ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置:産総研自主開発 ((1) Nanosecond Visible/Near-Infrared Fluorescence Spectrometer:AIST Original, (2) Nanosecond Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer:AIST Original, (3) Picosecond Visible/Near-Infrared Fluorescence Spectrometer:AIST Original, (4) Picosecond Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer:AIST Original)
型番
設備画像
可視-近赤外過渡吸収分光装置 (VITA)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
(1) ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置
液体、溶液、結晶、フィルムなどの蛍光スペクトルと蛍光寿命を測定する装置。
励起光源にレーザーダイオードやピコ秒のNd:YAGレーザーを用いており、非常に簡便に計測ができる。
寿命測定は時間相関単一光子計数法または高速オシロスコープによる直接法を用いており、弱い励起条件での計測が可能であるとともに、8桁程度の信号ダイナミックレンジのデータが取得できる。
・時間分解能:約200 ps
・励起波長:278, 342, 355, 408, 455, 532, 560, 637 nm
・測定波長範囲:350 nm~1600 nm
・測定雰囲気:-270 ℃~室温~+100 ℃

(2) ナノ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
液体、溶液、結晶、フィルムなどの過渡吸収スペクトルと減衰挙動を測定する装置。
励起光源に波長可変のTi:Sapphireレーザーを用いており、様々な測定対象に対応可能。
従来装置と比べて測定感度が高いことが特徴であり、吸光度変化として<0.001の計測が可能。
・時間分解能: 1 ns程度
・励起光: 100 fsパルス、波長240~2400 nm
・測定波長範囲: 400 nm~6000 nm
・測定雰囲気: 室温大気中(特殊環境は要相談)

(3) ピコ秒可視蛍光寿命計測装置
この装置は、40 psの時間分解能、時間レンジ1 ~ 100 ns、400 ~ 900 nmの観測波長領域を有する、時間分解蛍光スペクトル測定装置。
固体中励起子寿命、励起子拡散長、色素分子蛍光寿命の評価が可能。
・形式: C4334-01
・励起光:100 fsパルス、波長240~800 nm
・測定雰囲気: 室温大気中(特殊環境は要相談)
・時間分解能:40 psの時間分解能時間 レンジ1~100 ns、400~900 nm

(4) ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
200 fsの時間分解能、240 ~ 11000 nmの観測波長領域、<0.001の吸収測定精度を有する過渡吸収分光装置。
固体中キャリア寿命、界面電荷分離反応の速度・収率、励起子拡散長を評価。
・測定モード:透過・正反射・拡散反射型ポンプ-ブローブ法
・励起光:100~150 fsパルス、波長240~2400 nm
・測定雰囲気:室温大気中(特殊環境は要相談)
・時間分解能:200 fsの時間分解能、240~11000 nm

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)  (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))

メーカー名
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:日立  (・Detector: AIST Original ・SEM: HITACHI )
型番
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:HITACHI S-4500
設備画像
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。

・蛍光X線エネルギー範囲:100eV-2keV
・エネルギー分解能:~7 eV@400 eV X-ray
・計数率:200 kcps
・走査型電子顕微鏡:HITACHI S-4500
・加速器電圧範囲:500V-30kV
・最大サンプルサイズ:1インチ
・電子ビームサイズ(最適値):3.5nm at 30 kV, 25 nm at 1kV
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能

顕微ラマン分光装置 (Raman Microscope)

メーカー名
株式会社 東京インスツルメンツ (Tokyo Instruments, Inc.)
型番
nanofinder 30
設備画像
 顕微ラマン分光装置
設置機関
早稲田大学
仕様・特徴
面分解能200nm
高さ解能0.5nm
時間分解能2msの3次元イメージング可能
10cm□位
1回の測定範囲は10μm位

フーリエ変換赤外分光計  (Fourier Transform Infrared Spectroscopy)

メーカー名
日本分光株式会社 (JASCO Corporation)
型番
FT/IR-6200+加熱ATR測定部改造
設備画像
フーリエ変換赤外分光計
設置機関
早稲田大学
仕様・特徴
測定波数範囲: 7800~350 cm-1
測定波数拡張範囲: 15000~20cm-1
表示波数範囲: 15000~0 cm-1
波数正確さ: ±0.01 cm-1以内(理論値)

高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry)

メーカー名
株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
型番
UVISEL ER AGMS iHR320
設備画像
高性能分光エリプソメータ
設置機関
早稲田大学
仕様・特徴
波長範囲:190-2100nm
150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ

フォトルミネッセンス測定装置 (Photoluminesence measurement system)

メーカー名
堀場製作所 (Horiba)
型番
顕微PL測定装置
設備画像
フォトルミネッセンス測定装置
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
励起波長:640nm、1064nm、受光器:GaInAs、対物レンズ:x10(NA0.26)、x100(NA0.5)
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