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微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer（XRF）)

メーカー名: 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)

型番: SEA_5210Ａ

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設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

仕様・特徴: ・型式:SEA_5210A
・試料サイズ: 80mm^□, 35mmt（上面照射方式）
・分析元素:Na～U
・試料形態:固形、薄膜（液及び粉は要許可）
・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ
・雰囲気:大気、真空
・ソフトウエア:定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング

エックス線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))

メーカー名: 島津製作所 (SHIMADZU)

型番: KRATOS ANALYTICAL

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設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

仕様・特徴: ・型式:KRATOS ANALYTICAL
・試料サイズ: 100 mmφ、, 高さ10mm （専用ホルダ使用で約20mm迄可）
・X線源:Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα （1486.6 eV）
・光電子分光器:軌道半径165mm 静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
・検出器:ディレイラインディテクター（DLD）システム
・スペクトル分析:100チャネル同時計測
・イメージング:256×256画素（最大分解能3μm）
・最小スペクトル分析面積:15μmΦ
・エネルギ分解能:0.48 eV以下（Ag 3d_5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和均一低エネルギー電子照射
・光電子取り出し角度:垂直（標準）、0～90°（傾斜観察ホルダ使用）
* 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
・エッチングイオン銃:Ar^＋、多原子（コロネンC₂₄H₁₂ ）イオン
・搭載オプション:He紫外線光源（UPS用 21.2, 40.2 eV）

原子層堆積装置_3付帯ＸＰＳ装置（アルバック・ファイ） (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))

メーカー名: アルバック・ファイ (ULVAC-PHI,)

型番: Quantera II

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設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

仕様・特徴: ・型式:Quantera II
・試料サイズ:4インチφ
・X線源:単色化Al kα(ローランド直径 200 mm)
・光電子分光器:静電半球型(軌道直径279.4 mm)
・検出器:マルチチャネル検出器 (32 ch)
・スペクトル分析:0～1467 eV
・イメージング:最小ビーム径7.5μm, 最大走査範囲1.4 mmx1.4 mmのSXIイメージング
・最小スペクトル分析面積:7.5μmφ (20% - 80% knife edge法)
・エネルギ分解能:0.48 eV（Ag 3d_5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和:10 eV以下電子と5～10 eV Arイオン同時照射
・光電子取り出し角度:45°(標準)

陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) (Positron Probe MicroAnalyzer (PPMA))

メーカー名: 産総研自主開発 (AIST Original)

型番

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設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

仕様・特徴: 電子の反粒子である陽電子のマイクロビームを作り、物質中の陽電子寿命のマッピング測定を行う装置。
原子が1個抜けた原子空孔、ナノボイドのサイズ、分布の評価が可能。
・陽電子源：電子加速器対生成方式
・陽電子ビーム径： 0.01 mm ～ 10 mm
・陽電子ビームエネルギー： 1-30 keV
・寿命測定時間分解能： 200-300 ps

可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) (Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer (VITA))

メーカー名: (1) ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置：産総研自主開発、(2) ナノ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置：産総研自主開発、(3) ピコ秒可視蛍光寿命計測装置：産総研自主開発、(4) ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置：産総研自主開発 ((1) Nanosecond Visible/Near-Infrared Fluorescence Spectrometer：AIST Original, (2) Nanosecond Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer：AIST Original, (3) Picosecond Visible/Near-Infrared Fluorescence Spectrometer：AIST Original, (4) Picosecond Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer：AIST Original)

型番

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設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

仕様・特徴: (1) ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置
液体、溶液、結晶、フィルムなどの蛍光スペクトルと蛍光寿命を測定する装置。
励起光源にレーザーダイオードやピコ秒のNd:YAGレーザーを用いており、非常に簡便に計測ができる。
寿命測定は時間相関単一光子計数法または高速オシロスコープによる直接法を用いており、弱い励起条件での計測が可能であるとともに、8桁程度の信号ダイナミックレンジのデータが取得できる。
・時間分解能:約200 ps
・励起波長:278, 342, 355, 408, 455, 532, 560, 637 nm
・測定波長範囲:350 nm～1600 nm
・測定雰囲気：-270 ℃～室温～+100 ℃

(2) ナノ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
液体、溶液、結晶、フィルムなどの過渡吸収スペクトルと減衰挙動を測定する装置。
励起光源に波長可変のTi:Sapphireレーザーを用いており、様々な測定対象に対応可能。
従来装置と比べて測定感度が高いことが特徴であり、吸光度変化として<0.001の計測が可能。
・時間分解能: 1 ns程度
・励起光: 100 fsパルス、波長240～2400 nm
・測定波長範囲: 400 nm～6000 nm
・測定雰囲気: 室温大気中(特殊環境は要相談)

(3) ピコ秒可視蛍光寿命計測装置
この装置は、40 psの時間分解能、時間レンジ1 ～ 100 ns、400 ～ 900 nmの観測波長領域を有する、時間分解蛍光スペクトル測定装置。
固体中励起子寿命、励起子拡散長、色素分子蛍光寿命の評価が可能。
・形式: C4334-01
・励起光:100 fsパルス、波長240～800 nm
・測定雰囲気: 室温大気中(特殊環境は要相談)
・時間分解能：40 psの時間分解能時間ﾚﾝｼﾞ1～100 ns、400～900 nm

(4) ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
200 fsの時間分解能、240 ～ 11000 nmの観測波長領域、<0.001の吸収測定精度を有する過渡吸収分光装置。
固体中キャリア寿命、界面電荷分離反応の速度・収率、励起子拡散長を評価。
・測定モード:透過・正反射・拡散反射型ﾎﾟﾝﾌﾟ-ﾌﾞﾛｰﾌﾞ法
・励起光:100～150 fsパルス、波長240～2400 nm
・測定雰囲気:室温大気中(特殊環境は要相談)
・時間分解能：200 fsの時間分解能、240～11000 nm

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))

メーカー名: ・検出器：産総研自主開発・顕微鏡：日立 (・Detector: AIST Original ・SEM: HITACHI )

型番: ・検出器：産総研自主開発・顕微鏡：HITACHI S-4500

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設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

仕様・特徴: 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。

・蛍光X線エネルギー範囲：100eV-2keV
・エネルギー分解能：～7 eV@400 eV X-ray
・計数率：200 kcps
・走査型電子顕微鏡：HITACHI S-4500
・加速器電圧範囲：500V-30kV
・最大サンプルサイズ：1インチ
・電子ビームサイズ（最適値）：3.5nm at 30 kV, 25 nm at 1kV
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能