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ﾌｰﾘｴ変換型赤外分光装置 (Fourier Transform Infrared Spectrometer (FT-IR))
- メーカー名
- JASCO社 (JASCO)
- 型番
- FT-IR FT-IR-680 Plus
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・測定波数範囲：7800～350cm-1
・分解：0.25, 0.5, 1, 2, 4, 8, 16cm-1
・光学系：シングルビーム
・干渉計：28°入射マイケルソン干渉計
・光源：セラミック特殊光源（標準）
・検出器：DLATGS（温調付, 標準）
蛍光分光光度計 (Fluorescence Spectrometer)
- メーカー名
- JASCO社 (JASCO)
- 型番
- FP-6500
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・計測範囲：220 nm～750 nm
・10mmセル，ミクロセル使用可
・分解能：1 nm（励起・蛍光測定）
・ミクロセルホルダー装備 ・ETC-273型水冷ペルチェ式恒温セルホルダ装備
吸収分光光度計 (UV-VIS Spectrophotometer)
- メーカー名
- Shimadzu社 (Shimadzu)
- 型番
- UV-1800
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・190 nm～1100 nmまでの分光分析が可能
・1 cmセル
・吸光度：-4～4 Absで測定可能
X線光電子分光装置 (X-ray photoemission spectrometer)
- メーカー名
- VG (VG)
- 型番
- ESCALab250
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・Mg/Alツインアノード
・AlモノクロX線源
・Arスパッタ銃
・角度分解測定用マニュピレータ
・最大試料サイズ：20mmφ
蛍光りん光分光光度計 (Fluorescence spectroscopy)
- メーカー名
- 堀場製作所 (HORIBA)
- 型番
- Fluoromax-4P
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・光源：オゾンレスキセノンランプ，燐光用フラッシュランプ
・試料最大サイズ：～10mm角程度
・燐光寿命計測範囲：10μs以上
・発光波長計測範囲：290-970nm
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 (Multipurpose plasma process system with radical monitor)
- メーカー名
- 自作 (Lab made)
- 型番
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・プラズマ処理の際に生成する温度，ラジカル密度，励起種，表面分析をIn-situで行う．
・プロセスガス：H2，N2，Ar，O2，He
・基板温度：－10℃-60℃
・サンプル：4インチウエハ
表面解析プラズマビーム装置 (Plasma beam system with surface analysis)
- メーカー名
- 自作 (Lab made)
- 型番
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・プラズマビームを材料表面に照射後のin-situ XPS評価により，表面-プラズマ間の反応の解析が可能．
・使用ガス：HBr，Ar，CF4，C4F8，Cl2，H2，N2，O2
in-situプラズマ照射表面分析装置 (In-situ plasma exposure and analysis system)
- メーカー名
- 自作 (Lab made)
- 型番
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・プラズマ照射後の表面のin-situ XPS，FT-IR，STM分析が可能．
・プロセスガス：H2，N2，O2，Ar，He，SiH4，SF6，CF4
真空紫外吸収分光計 (Ultraviolet absorption spectroscopy )
- メーカー名
- NUシステム (NU System)
- 型番
- 特注
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・プラズマ診断用
・真空チャンバー壁面に設置
・H，O，N，Cラジカル密度計測可
フーリエ変換赤外分光分析 (Fourier transform infrared spectroscopy)
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- FT/IR-615V
- 設備画像
- 設置機関
- 名古屋大学
- 仕様・特徴
- ・測定波数範囲: 7800～350cm-1
・透過および全反射測定対応
・干渉計、試料室、検出器部真空引き可能