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フーリエ変換型赤外分光装置 (Fourier Transform Infrared Spectrometer (FT-IR))

メーカー名
JASCO社 (JASCO)
型番
FT-IR FT-IR-680 Plus
設備画像
フーリエ変換型赤外分光装置
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・測定波数範囲:7800~350cm-1
・分解:0.25, 0.5, 1, 2, 4, 8, 16cm-1
・光学系:シングルビーム
・干渉計:28°入射マイケルソン干渉計
・光源:セラミック特殊光源(標準)
・検出器:DLATGS(温調付, 標準)

蛍光分光光度計 (Fluorescence Spectrometer)

メーカー名
JASCO社 (JASCO)
型番
FP-6500
設備画像
蛍光分光光度計
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・計測範囲:220 nm~750 nm
・10mmセル,ミクロセル使用可
・分解能:1 nm(励起・蛍光測定)
・ミクロセルホルダー装備 ・ETC-273型水冷ペルチェ式恒温セルホルダ装備

吸収分光光度計 (UV-VIS Spectrophotometer)

メーカー名
Shimadzu社 (Shimadzu)
型番
UV-1800
設備画像
吸収分光光度計
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・190 nm~1100 nmまでの分光分析が可能
・1 cmセル
・吸光度:-4~4 Absで測定可能

X線光電子分光装置 (X-ray photoemission spectrometer)

メーカー名
VG (VG)
型番
ESCALab250
設備画像
X線光電子分光装置
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・Mg/Alツインアノード
・AlモノクロX線源
・Arスパッタ銃
・角度分解測定用マニュピレータ
・最大試料サイズ:20mmφ

蛍光りん光分光光度計 (Fluorescence spectroscopy)

メーカー名
堀場製作所 (HORIBA)
型番
Fluoromax-4P
設備画像
蛍光りん光分光光度計
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・光源:オゾンレスキセノンランプ,燐光用フラッシュランプ
・試料最大サイズ:~10mm角程度
・燐光寿命計測範囲:10μs以上
・発光波長計測範囲:290-970nm

ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 (Multipurpose plasma process system with radical monitor)

メーカー名
自作 (Lab made)
型番
設備画像
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・プラズマ処理の際に生成する温度,ラジカル密度,励起種,表面分析をIn-situで行う.
・プロセスガス:H2,N2,Ar,O2,He
・基板温度:-10℃-60℃
・サンプル:4インチウエハ

表面解析プラズマビーム装置 (Plasma beam system with surface analysis)

メーカー名
自作 (Lab made)
型番
設備画像
表面解析プラズマビーム装置
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・プラズマビームを材料表面に照射後のin-situ XPS評価により,表面-プラズマ間の反応の解析が可能.
・使用ガス:HBr,Ar,CF4,C4F8,Cl2,H2,N2,O2

in-situプラズマ照射表面分析装置 (In-situ plasma exposure and analysis system)

メーカー名
自作 (Lab made)
型番
設備画像
in-situプラズマ照射表面分析装置
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・プラズマ照射後の表面のin-situ XPS,FT-IR,STM分析が可能.
・プロセスガス:H2,N2,O2,Ar,He,SiH4,SF6,CF4

真空紫外吸収分光計 (Ultraviolet absorption spectroscopy )

メーカー名
NUシステム (NU System)
型番
特注
設備画像
真空紫外吸収分光計
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・プラズマ診断用
・真空チャンバー壁面に設置
・H,O,N,Cラジカル密度計測可

フーリエ変換赤外分光分析 (Fourier transform infrared spectroscopy)

メーカー名
日本分光 (JASCO)
型番
FT/IR-615V
設備画像
フーリエ変換赤外分光分析
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・測定波数範囲: 7800~350cm-1
・透過および全反射測定対応
・干渉計、試料室、検出器部真空引き可能
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