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300kV収差補正電子顕微鏡 (Analytical apparatus for electron beam sensitive materials)

メーカー名
日本電子 (JEOL )
型番
JEM-ARM300F
設備画像
300kV収差補正電子顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・加速電圧 60, 80, 300kV
・TEM非線形情報限界 60pm
・TEM格子分解能 50pm
・STEM空間分解能 58pm
・CMOSカメラ 動画撮影機能搭載
・デュアルEDS検出器 合計立体角1.2Sr
・EELS エネルギー分解能0.7eV

単原子分析電子顕微鏡 (Atomic-resolution analytical electron microscope)

メーカー名
日本エフイー・アイ (FEI)
型番
FEI Titan Cubed
設備画像
単原子分析電子顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・加速電圧80kV-300kV
・分解能70pm (300kV)
・エネルギー分解能80meV (80kV)
・ダブルコレクター
・モノクロメータ

冷陰極電界放出形電子顕微鏡 (Cold-FEG transmission electron microscope)

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
型番
HF-3000S
設備画像
冷陰極電界放出形電子顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・加速電圧:100-300kV
・分解能0.2nm (300kV)

低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 (Low-voltage atomic-resolution Scanning Transmision Electron Microscopy)

メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL)
型番
JEM-ARM200CF
設備画像
低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□ 主な仕様
・冷陰極電界放出電子銃
・加速電圧: 30 - 200 kV
・分解能: 0.071 nm (200 kV), 0.11 nm (60 kV)
・分析機能: EDS, EELS
・収差補正装置(プローブ補正)
・遠隔操作利用可

球面収差補正透過電子顕微鏡 (Spherical-aberration-corected transmission electron microscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2200FS
設備画像
球面収差補正透過電子顕微鏡
設置機関
京都大学
仕様・特徴
結像系の球面収差補正装置とインカラム型オメガフィルターを搭載した高分解能分析電子顕微鏡。
・加速電圧:200kV
・電子銃:ショットキー型
・TEM分解能:0.2nm
・エネルギー分解能:0.8eV
・分析機能:EELS

モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 (Monochromated atomic resolution analytical electron microscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F
設備画像
モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡
設置機関
京都大学
仕様・特徴
照射系と結像系に球面収差補正装置を搭載し、電子銃にはモノクロメータが組み込まれた高エネルギー分解能原子直視型分析電子顕微鏡。分析機能はEELSとEDSを装備。
・加速電圧:200kV、60kV
・電子銃:ショットキー型
・TEM分解能:0.1nm
・STEM分解能:0.08nm
・エネルギー分解能:0.03eV
・分析機能:EELS、EDS

マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)

メーカー名
日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
型番
Zeiss-ULTRA55 + SII-TES
設備画像
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置
設置機関
九州大学
仕様・特徴
超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析

動的二次イオン質量分析測定装置 (Aecondary ion mass spectrometer)

メーカー名
Analysetechnik  (Analysetechnik )
型番
ATOMIKA SIMS 4000 四重極型
設備画像
動的二次イオン質量分析測定装置
設置機関
九州大学
仕様・特徴
・質量分析計:四重極型
・一次イオンビームソース:酸素とアルゴン
・加速電圧:3 k - 15 kV
・測定面積:250 μm - 1000 μm
・深さ分解能:7 - 8 nm

ナノ炭素燃料電池評価装置群 (Fuel cell evaluation systems)

メーカー名
東陽テクニカマイクロトラック・ベル (TOYO MICROTRAC MRB)
型番
AutoPEM-ER02AutoPEM-ER01BELSORP-miniⅡBELSORP-maxBELCAT-B
設備画像
ナノ炭素燃料電池評価装置群
設置機関
九州大学
仕様・特徴
【自動CV型燃料電池評価システム、燃料電池評価システム】
・燃料供給装置H2ガス1000 Ncc/min ~、Air 2000 Ncc/min~)
・DC分極電圧5 V~、電流±2 A~、自動電圧スイープ6 mV~60 V/min
・測定分解能:電流~1pA,電圧~1μV
【付帯装置:高精度ホットプレス SA-501テスター産業】

【触媒活性表面測定システム:BELSORP-miniⅡ、触媒分析装置 BELCAT-B】
・定容量式窒素ガス吸着法
・ 最大3検体同時測定(1つは参照)
・(比表面積:0.01 m2/g~、細孔径分布0.7~200 nm)
・解析プログラム:吸着等温線、BET比表面積自動解析、tプロット法等
・圧力計5台、0~133kPa、±0.25%
・圧力分解能 4Pa
・流通法 (室温~1200 ℃) TCD検出器
【ガス吸着装置BELSORP-max-12-SP】
・定容量式ガス吸着法
・最大3検体同時測定
・比表面積:0.01 m2/g ~ (N2)
・細孔径分布:0.35 - 500 nm
・N2、CO2、その他の非腐食性ガス
・解析プログラム:吸着等温線、BET比表面積自動解析、tプロット法等

陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) (Positron Probe MicroAnalyzer (PPMA))

メーカー名
産総研自主開発 (AIST Original)
型番
設備画像
陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
電子の反粒子である陽電子のマイクロビームを作り、物質中の陽電子寿命のマッピング測定を行う装置。
原子が1個抜けた原子空孔、ナノボイドのサイズ、分布の評価が可能。
・陽電子源 : 電子加速器対生成方式
・陽電子ビーム径 : 0.01 mm ~ 10 mm
・陽電子ビームエネルギー : 1-30 keV
・寿命測定時間分解能 : 200-300 ps
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