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電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 (Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA))

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8500F
設備画像
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・電界放出形電子銃
・加速電圧:1~30 kV
・照射電流:10 pA ~500 nA
・測定可能元素:Be~U
・最大試料サイズ:100 x 100 x 20 mm

電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA))

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8530F
設備画像
電界放出形電子プローブマイクロアナライザー
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:WDS

電子線元素状態分析装置 (Electron Probe Micro Analyzer)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8530F
設備画像
電子線元素状態分析装置
設置機関
電気通信大学
仕様・特徴
最高加速電圧: 200kV, 倍率: ×50-1,500,000
格子分解能: 0.1nm, 点分解能: 0.23nm, STEMモード: 0.2nm

リモート対応型電子線マイクロアナライザー (Remote-controlled electron probe microanalyzer)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-iHP200F
設備画像
リモート対応型電子線マイクロアナライザー
設置機関
信州大学
仕様・特徴
2次電子分解能 2.5nm
分析元素B~U
WDS:5基、EDS1基
最大試料100mm×100mm×50mm
加速電圧1~30kV

電子線マイクロアナライザ (Electron Probe Micrianalyser(EPMA))

メーカー名
島津製作所 (Shimadzu)
型番
EPMA1610
設備画像
電子線マイクロアナライザ
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・加速電圧: 〜 30 kV
・WDS検出器(5ch)
・EDS検出器搭載
・CL検出器搭載
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