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走査型オージェ電子分光分析装置 (Scanning Auger Electron Microprobe (CHA Type AES))

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JAMP-9500F
設備画像
走査型オージェ電子分光分析装置
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・ショットキー電界放射電子銃
・空間分解能:<8 nm
・加速電圧:0.5~30 kV
・照射電流:0.1~100 nA
・測定元素:Li~U
・最大試料サイズ:14 x 14 x 5 mm
・半球型アナライザー搭載

オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy)

メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
PHI680
設備画像
オージェ分光分析装置
設置機関
東京大学
仕様・特徴
元素分析装置。 対象の極表面から出て来るオージェ電子のエネルギー分光計測によって元素を調べることが出来る。
アルゴンミリングと併用でき、深さ方向のプロファイルを測定することができる。

オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JAMP-9500F
設備画像
オージェ電子分光装置
設置機関
北海道大学
仕様・特徴
加速電圧:0.5~30kV、プローブ電流:10-11~2×10-7A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging

走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM)

メーカー名
アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
型番
SAM670Xi
設備画像
走査型オージェ電子分光顕微鏡
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
仕様・特徴
元素分析:原子番号3以上
最大加速電圧:25kV
走査電子ビーム径:15nm以下(加速電圧20kV、電流1nA)
エネルギー分析:0-3200 eV
超高真空

オージェ電子顕微鏡 (Auger electron microscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JAMP-9510
設備画像
オージェ電子顕微鏡
設置機関
信州大学
仕様・特徴
FE電子銃 加速電圧 0.5~30kV
静電半球アナライザ
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