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蛍光X線分析装置 (X-ray Fluorescence Analyzer)

メーカー名
リガク社 (Rigaku)
型番
NEX CG(EXDL 300)
設備画像
蛍光X線分析装置
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・・エネルギー分散型 ・最大出力:50W
・二次ターゲット:Cu、Mo、Al、RX-9、Si
・検出器:Silicon Drift Detector ・試料サイズ:φ20

走査電子顕微鏡装置群 (Scanning electron microscope system)

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ キーエンス  (Hitachi High-Tech KEYENCE)
型番
SU9000 VE-9800
設備画像
走査電子顕微鏡装置群
設置機関
九州大学
仕様・特徴
【超高分解能走査電子顕微鏡装置:SU9000】
・SEM(空間分解能0.4nm)とSTEM(空間分解能0.34nm)の高分解能同視野観察
・30kV以下の低加速観察
・コールドFE電子銃
・EDSによる高解像度元素マッピング
・含水サンプルの凍結観察個体表面における原子の分布を高分解能マッッピング
【3次元SEM画像測定解析システムVE-9800 KEYENCE】
・加速電圧0.5-20kV
・さまざまな有機/無機/複合材料表面構造解析低加速電圧観察可能(0.5 kV)、
・非導電性試料でも非蒸着で観察可能
・測定真空度3-260MPaで最高分解能30 nm

微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer(XRF))

メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)
型番
SEA_5210A
設備画像
微小部蛍光X線分析装置
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:SEA_5210A
・試料サイズ: 80mm, 35mmt(上面照射方式)
・分析元素:Na~U
・試料形態:固形、薄膜(液及び粉は要許可)
・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ
・雰囲気:大気、真空
・ソフトウエア:定性分析、定量分析(FP法、検量線法)、薄膜分析(膜厚、組成)、元素マッピング

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)  (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))

メーカー名
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:日立  (・Detector: AIST Original ・SEM: HITACHI )
型番
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:HITACHI S-4500
設備画像
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。

・蛍光X線エネルギー範囲:100eV-2keV
・エネルギー分解能:~7 eV@400 eV X-ray
・計数率:200 kcps
・走査型電子顕微鏡:HITACHI S-4500
・加速器電圧範囲:500V-30kV
・最大サンプルサイズ:1インチ
・電子ビームサイズ(最適値):3.5nm at 30 kV, 25 nm at 1kV
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能

顕微蛍光X線分析装置 (Micro Fluorescent X-ray Analyzer)

メーカー名
堀場製作所 (HORIBA)
型番
XGT-7200VNM
設備画像
顕微蛍光X線分析装置
設置機関
名古屋工業大学
仕様・特徴
蛍光X線分析と透過X線の同時観察が可能
10μmおよび1.2mmプローブ搭載
点およびマッピング測定に対応可能
真空環境下および大気環境下での測定

蛍光X線分析装置(XRF) (XRF)

メーカー名
リガク ()
型番
ZSX-400
設備画像
蛍光X線分析装置(XRF)
設置機関
広島大学
仕様・特徴
波長分散型XRF 金属などの組成分析
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