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ブラシスクラバ (Brush scrubber)
- 設備ID
- TU-009
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 全協化成 (Zenkyo)
- 型番
- 特注
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：20mm角～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
スプレー現像装置 (Spray developer)
- 設備ID
- TU-059
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ADE-3000S
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：3～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
現像ドラフト (Draft chamber for development)
- 設備ID
- TU-060
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- - (-)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
スピン乾燥機 (Spin dryer)
- 設備ID
- TU-061
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東邦化成 (Toho Kasei)
- 型番
- ZAA-4
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～7インチ
- 設備状況
- 稼働中
コータデベロッパ (Coater developer)
- 設備ID
- TU-062
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Suss (Suss)
- 型番
- ACS200Gen3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：2～8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
- 設備状況
- 稼働中
クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps)
- 設備ID
- UT-800
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- 化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」
クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、
クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台。
全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。
窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。
- 設備状況
- 稼働中