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ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)
- 設備ID
- TU-213
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブランソン (Branson)
- 型番
- IPC4000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
サンプルは石英治具に載せる
プラズマ方式：バレル式
ガス：O2
- 設備状況
- 稼働中
EVG プラズマ活性化装置 (EVG plasma activation)
- 設備ID
- TU-254
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- EVG (EVG)
- 型番
- 810
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ガス：N2、O2、Ar
- 設備状況
- 稼働中
エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)
- 設備ID
- TU-265
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- デアネヒステ (Dernaechste)
- 型番
- EXC-1201-DN
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～4インチ
ガス：O2
- 設備状況
- 稼働中
UVオゾンクリーナー (UV ozone cleaner)
- 設備ID
- UT-804
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- UV-1
- 仕様・特徴
- レジスト等のアッシング処理が可能
- 設備状況
- 稼働中
プラズマ表面改質装置 (Plasama Surface Modificaton Equipment)
- 設備ID
- UT-805
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- AQ-50
- 仕様・特徴
- 特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。
- 設備状況
- 稼働中
プラズマアッシャー (Plasma Asher)
- 設備ID
- WS-006
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学株式会社 (Yamato Scientific Co., Ltd.)
- 型番
- PR500
- 仕様・特徴
- 使用ガス：O2ガス
試料サイズ：φ4インチ以下
用途：レジストの灰化除去
ドライエッチング後のO2アッシング）
有機系汚染物質のクリーニング
Si表面の親水化処理等
- 設備状況
- 稼働中