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ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
GA-013
設置機関
香川大学
設備画像
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群
メーカー名
日本電子, 日本電子, 日本電子, ディエナー (JEOL, JEOL, JEOL, diener)
型番
JSM-IT800SHL, JCM-7000, JFC-3000FC, Femto
仕様・特徴
・JSM-IT800SHL
サンプルサイズ:~φ100mm
分解能:0.7nm(20kV)1.3nm(1kV)
倍率:×27~5,480,000(表示倍率)
加速電圧:0.01~30kV
分析機能:EDS
・JCM-7000
サンプルサイズ:~φ25mm(傾斜回転有)~φ80mm(傾斜回転無)
倍率:×10~100,000
加速電圧:5kV、10kV、15kV(3段)
設備状況
稼働中

水蒸気プラズマクリーナー (Aqua Plasma Cleaner)

設備ID
KT-231
設置機関
京都大学
設備画像
水蒸気プラズマクリーナー
メーカー名
サムコ(株) (Samco Inc.)
型番
AQ-500KU
仕様・特徴
サムコ株式会社 Aqua Plasma クリーナー AQ-500KU
水蒸気(H2O)を用いたプラズマ処理
樹脂接合、金属酸化膜の還元、有機洗浄、超親水性処理
200mm角試料まで対応
設備状況
稼働中

水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] (H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #1])

設備ID
NM-605
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
メーカー名
サムコ (Samco)
型番
AQ-500
仕様・特徴
・用途:洗浄・還元・灰化・接合・親水化
・高周波出力:50-250W
・反応ガス:H2O,O2
・最大試料サイズ:φ8 inch
・その他:自動運転プログラム
設備状況
稼働中

水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2] (H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #2])

設備ID
NM-638
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
メーカー名
サムコ株式会社 (Samco Inc.)
型番
AQ-500
仕様・特徴
・出力:50-250W
・プロセスガス:H2O,O2
・最大試料サイズ:φ6 inch
設備状況
稼働中

超高密度大気圧プラズマ装置 (Ultra-high density atomospheric pressure plasma system)

設備ID
NU-235
設置機関
名古屋大学
設備画像
超高密度大気圧プラズマ装置
メーカー名
FUJI (FUJI)
型番
特注
仕様・特徴
・大気圧プラズマ中のラジカルを用いた材料の表面処理(改質、洗浄)
・使用ガス:Ar,N2.Ar+O2
・電源:AC交流電源、9 kV,60 Hz
設備状況
稼働中

ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 (Multipurpose plasma process system with radical monitor)

設備ID
NU-237
設置機関
名古屋大学
設備画像
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
メーカー名
自作 (Lab made)
型番
仕様・特徴
・プラズマ処理の際に生成する温度,ラジカル密度,励起種,表面分析をIn-situで行う.
・プロセスガス:H2,N2,Ar,O2,He
・基板温度:-10℃-60℃
・サンプル:4インチウエハ
設備状況
稼働中

表面解析プラズマビーム装置 (Plasma beam system with surface analysis)

設備ID
NU-239
設置機関
名古屋大学
設備画像
表面解析プラズマビーム装置
メーカー名
自作 (Lab made)
型番
仕様・特徴
・プラズマビームを材料表面に照射後のin-situ XPS評価により,表面-プラズマ間の反応の解析が可能.
・使用ガス:HBr,Ar,CF4,C4F8,Cl2,H2,N2,O2
設備状況
稼働中

in-situプラズマ照射表面分析装置 (In-situ plasma exposure and analysis system)

設備ID
NU-240
設置機関
名古屋大学
設備画像
in-situプラズマ照射表面分析装置
メーカー名
自作 (Lab made)
型番
仕様・特徴
・プラズマ照射後の表面のin-situ XPS,FT-IR,STM分析が可能.
・プロセスガス:H2,N2,O2,Ar,He,SiH4,SF6,CF4
設備状況
稼働中

プラズマクリーナー (Plasma cleaner)

設備ID
TU-211
設置機関
東北大学
設備画像
プラズマクリーナー
メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
PDC210
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
基板固定方式:静置(温度制御不可)
プラズマ方式:CCP、バレル式
ガス:O2、Ar
設備状況
稼働中

アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)

設備ID
TU-212
設置機関
東北大学
設備画像
アルバック アッシング装置
メーカー名
アルバック (Ulvac)
型番
UNA-2000
仕様・特徴
サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式:CCP(2.45GHz)
ガス:O2、H2フォーミングガス
設備状況
稼働中
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