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精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher)
- 設備ID
- UT-916
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ロジテック (Logitec)
- 型番
- PM-6
- 仕様・特徴
- 化学研磨装置
対象物を精密に研磨する装置。研磨剤によって、高速に粗く削る（ラッピング）ことも、低速に平坦性を確保する（ポリッシング）ことも可能。4”丸型ウエーハまで研磨可能。
回転機構：1軸タイプ
最大サンプル径：4インチ
- 設備状況
- 稼働中
ウエーハレベルボンディング装置SB8 Gen2 (Substrate Bonder)
- 設備ID
- UT-917
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ズースマイクロテック (Suss MicroTec)
- 型番
- SB8 Gen2
- 仕様・特徴
- ウエーハ同士を接合する装置。位置合わせはマスクアライナーMA6（UT-504）で行う。MEMSプロセスや三次元配線形成に用いられる装置。
最大加熱温度：550℃、温度均一性：±1.5℃
温度再現性：±3℃、最大加熱速度：30K/分
最大冷却速度：25K/分、最大加圧力：20kN
圧力均一性：±2%
- 設備状況
- 稼働中
CMP装置 (CMP(Chemical Mechanical Polish))
- 設備ID
- UT-918
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ロジテック (Logitec Co.)
- 型番
- Orbis
- 仕様・特徴
- ・COF(摩擦係数)やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターしており、これらのパラメーターで上限値を設定出来ます。
・「ダウンロード」と「バックプレッシャー」の2種類の圧力(荷重)が働き、反ったウエハーでも均一に研磨が可能です。
・複数のスラリーポンプを搭載し、プロセスに応じて自動でスラリーを切り替えることができます。
・最大8インチ。個片可能。
- 設備状況
- 稼働中
研磨パーティクル洗浄装置 (Abrasive particle cleaning equipment)
- 設備ID
- UT-919
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ハイソル株式会社 (Hisol Inc.)
- 型番
- ParticlClean
- 仕様・特徴
- 卓上型の洗浄装置です。CMPなどの研磨後のウエハー洗浄など、手洗いの代替としてご使用頂けます。
・柔らかいPVA パッドでスクラブ洗浄し、更に純水ミストを高速衝突させるスクラブと2流体(ミスト)のダブル洗浄で優しく強力にパーティクルを除去
・試料をセットしてボタンを押すだけで洗浄からスピン乾燥まで自動処理します。
・最大6インチウエハ。個片加納。
・「スクラブ洗浄」「2 流体洗浄」「リンス」「乾燥」といった一連のプロセスを一台の装置で行うことが出来ます。プロセスレシピを保存できます。
・HEPAフィルター内蔵
- 設備状況
- 稼働中
樹脂３Dプリンタ (3D Printer using hot-melt plastic ink)
- 設備ID
- UT-950
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- Afinia (Afinia)
- 型番
- H800
- 仕様・特徴
- 熱抽出による三次元構造作製が可能。治具作製に最適。
- 設備状況
- 稼働中
シールドルーム (Shield Room)
- 設備ID
- UT-951
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京計器 (Tokyo Keiki)
- 型番
- SR602M
- 仕様・特徴
- 1.電磁波の影響を受けず測定ができる環境を提供します。
2.メッシュ式シールドルーム
3.内寸：W2.7mｘD3.6mｘH2.1m
4.シールド性能：500KHz（または150kHz）～2GHzにおいて60dB以上減衰（電界/平面波）
- 設備状況
- 稼働中
HF,VHF,UHF測定装置群（カテゴリ1200） (HF, VHF, UHFMeasuring Devices（Category 1200）)
- 設備ID
- UT-952
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 1.東洋メディック、2.独ローデシュワルツ、3.NF回路設計ブロック、4.NF回路設計ブロック、5.三菱電機エンジニアリング、6.テクトロニクス、7.ローデ・シュワルツ、8.エレクトロニクス&イノベーション、9.エレクトロニクス&イノベーション (1.Toyo Medic、2.Rohde & Schwarz、3.NF Corporation、4.NF Corporation、5.Mitsubish Electric Engineering、6.Tektronics、7..Rohde & Schwarz、8.Electronic & Innovation、9.Electronic & Innovation)
- 型番
- 1.等方性電磁界測定装置EHP-200A（東洋メディック）、2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6（独ローデシュワルツ）、3.周波数応答分析装置FRA5097（NF回路設計ブロック）、4.高速バイポーラ電源 HSA4101（NF回路設計ブロック）、5.無線供給用電源KM-1 T1050（三菱電機エンジニアリング）、6.スペアナRSA5106B（テクトロニクス）、7.パワーメーターNRP-Z91（ローデ・シュワルツ）、8.リニアアンプA075 ７５W（エレクトロニクス&イノベーション）、9.リニアアンプ1041L 400W（エレクトロニクス&イノベーション）
- 仕様・特徴
- 1.等方性電磁界測定器EHP-200A、9kHzから30MHzの周波数帯域における電界（0.02～1000V/m）または磁界（6mA/m～300A/m）を高精度に測定する等方性電磁界測定器です。
2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6、9KHzから6GHzの周波数帯域におけるSパラメータを高速・高精度に解析できる装置です。
3.周波数応答分析装置FRA5097、ディジタルフーリエ積分方式の優れたノイズ除去特性を生かし、0.1 mHzから15MHzの周波数帯域において、被測定対象の周波数応答（振幅・位相）を高精度に測定する装置です。
4.高速バイポーラ電源HSA4101、直流から最高10MHzまでの信号を扱うことができる高速・広帯域・高電圧出力のバイポーラ方式電力増幅器です。
5.無線供給用電源KM-1 T1050、無線電力伝送装置の開発に使用できる6.78MHz，50W 出力電源
6.スペアナRSA5106B、最高40GHzの周波数帯域に対応し、VLFバンドからKuバンドまでの9kHz～18.0GHzの信号をすばやく捕捉できます。
7.パワーメーターNRP-Z91、アベレージ・パワー・センサ：9kHz～6GHzの周波数範囲
8.リニアアンプA075、クラスA 75W出力、周波数300KHz～35MHz
9.リニアアンプ1040L、400W出力、周波数10KHz～5MHz
- 設備状況
- 稼働中
電波暗箱 (Radio waves shield box)
- 設備ID
- UT-953
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- マイクロニクス (micronix)
- 型番
- MY5310B
- 仕様・特徴
- ・フェライト系電波吸収体を使用。
・超小型・広帯域アンテナ（30MHz～1GHz）を用意。
EMI試験に最適
・内寸：1230(W)x915(H)x915(D)
・ドア開口部寸法：約410(W)×710(H)mm
・同軸コネクタ：N(J)×1（正面左下・アンテナ用）、N(J)×1（右側面下）
・インターフェース：D-sub25ピン×1（メス）、LAN×1
AC×1（250Vmax/10A）、※電動ターンテーブル装着時はAC100V
・シールド性能：70dB typ@2.2GHz
・吸収性能：20dB以上＠35MHz～2.2GHz
注意：キャリブレーションキット（ZV-Z132、R&S）が武田309号室川原研究室にあります。使用したい場合はお声掛けください。
- 設備状況
- 稼働中
HF,VHF,UHF測定装置群（カテゴリ600） (HF, VHF, UHFMeasuring Devices（Category 600）)
- 設備ID
- UT-954
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 1.ローデアンドシュワルツ 2.テクトロニクス 3.株式会社ドルフィンシステム (1.ROHDE&SCHWARZ 2.Tektronix 3.Dolhin System Co.,Ltd.)
- 型番
- 1.信号発生器 SMC100 2.オシロスコープ MSO2024 3.USRP RIO 2944R
- 仕様・特徴
- 1.高い柔軟性と汎用性を備えた信号発生器です。9 kHz ~ 1.1 GHz/3.2 GHzの周波数範囲に対応し、出力パワーは、+17 dBm（代表値）以上です。また、アナログ変調（AM/FM/φM/パルス変調）機能を標準装備しています。
2.ベンチトップオシロスコープ, 200MHZ, 1 GS/S 4+16 CH
3.RFの収録・再生システムです。対応周波数と帯域幅 10M～6GHz、160M BW、収録可能帯域幅 800MB/s
- 設備状況
- 稼働中
バッテリーエミュレータ (Battery Emulator)
- 設備ID
- UT-955
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ケースレー (Keithley)
- 型番
- 2281S-20-6
- 仕様・特徴
- 2281S-20-6型ダイナミック・バッテリ・シミュレータ（エミュレータ）は、バッテリ・モデルを使用して、さまざまな充電状態におけるバッテリの応答をエミュレート（再現）できます。バッテリ寿命の推定に使用できるほか、異なる充電状態における製品の性能も解析できます。
・最大電圧 20V、最大電流 6A
- 設備状況
- 稼働中