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超高温炉 (Rapid Thermal Annealing (RTA) System)
- 設備ID
- BA-022
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモ理工 (THERMO RIKO CO., LTD)
- 型番
- SR1800TS
- 仕様・特徴
- ・ 真空中で試料加熱を行うことができ、最大昇温速度は300℃/sec、最高到達温度は1800℃.
・ 昇温速度、熱処理時間等の詳細な熱処理条件をプログラムすることが可能.
・ 試料ホルダーはグラファイト製に加え、石英製も備えられており、酸化性雰囲気での熱処理も可能.
加熱方式：赤外線導入加熱方式、最高到達温度：1800℃、最大昇温速度：300℃/sec、最大到達真空度：5 × 10-5 Pa、加熱面積：φ15mm.
- 設備状況
- 稼働中
ワイヤボンダー (Manual Wire Bonder)
- 設備ID
- BA-024
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- WEST BOND (WEST BOND)
- 型番
- 7476D
- 仕様・特徴
- チップキャリアへのボンディング
ボンディング方式：超音波/熱圧着ウェッジボンド方式
ボンディングウェッジ：45, 90度
ワイヤ種：アルミ線・金線
試料サイズ：50mm角以下、DIPパッケージ
- 設備状況
- 稼働中
終点検出器付き イオンミリング (Ion Milling System with an end-point detector)
- 設備ID
- BA-025
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- 伯東 (hakuto)
- 型番
- 10IBE-EPD_UoT-Y
- 仕様・特徴
- レシピに沿ってイオンミリングを実施。
[ビーム電源]
出力:100 V ~ 1400 V DC
電流範囲: 30 mA ~ 200 mA
[終点検出装置]
SIMS型四重極質量分析計終点検出装置
- 設備状況
- 稼働中
多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS/UPS） (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS/UPS))
- 設備ID
- BA-026
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- PHI VersaProbe ４
- 仕様・特徴
- Al Kα モノクロX線源（Ag 3d5/2 半値幅：0.50 eV）
アルゴンガスクラスターイオン銃（Ar-GCIB）
真空紫外線光源（UPS）
低エネルギー逆光電子分光法（LEIPS）
反射電子エネルギー損失分光法（REELS）
- 設備状況
- 稼働中
10kV計測システム (10kV Measurement System)
- 設備ID
- BA-027
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- アポロウエーブ/テクトロニクス・ケースレーインスツルメンツ (Apollowave/Tektronics-Keithley)
- 型番
- α150PW/2290-10, 2636B
- 仕様・特徴
- 最大10kVの電圧印加によるリーク電流、耐圧測定
200V,1Aの汎用IV測定（SMU:4ch）
4端子デバイス測定
高温ステージ（最高300℃）のマニュアルプローバ（最大φ4インチ。5㎜□、φ2インチの吸着可）
- 設備状況
- 稼働中
紫外可視近赤外分光光度計 (UV-Vis-NIR Spectrometer)
- 設備ID
- CT-001
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- V-670DS
- 仕様・特徴
- ・測定範囲： 190~3,200 nm
- 設備状況
- 稼働中
フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 (Fourier transform infrared spectrometer (FTIR)/Micro FTIR spectrometer)
- 設備ID
- CT-002
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- FT/IR-6600IRT-5200
- 仕様・特徴
- FT/IR-6600, IRT-5200
・測定範囲： 7,800～350 cm-1
IRT-5200
・分解能：2 cm-1
- 設備状況
- 稼働中
ラマンイメージング (Raman imaging microscope)
- 設備ID
- CT-003
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- レニショー (Renishaw)
- 型番
- inVia
- 仕様・特徴
- ・レーザー波長：325 nm、532 nm、785 nm
・二次元・三次元マッピング機能（0.1 μm位置再現性）
・波数域：100～4,000 cm-1
・温度調節ステージ
- 設備状況
- 稼働中
顕微ラマン分光 (Raman microscope)
- 設備ID
- CT-004
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- フォトンデザイン (PHOTON Design)
- 型番
- RSM-310
- 仕様・特徴
- ・レーザー波長：1,064 nm
・マッピング機能あり
- 設備状況
- 稼働中
核磁気共鳴装置（NMR） (Nuclear magnetic resonance spectrometer (NMR))
- 設備ID
- CT-005
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- AVANCE NEO 400
- 仕様・特徴
- ・1H共鳴周波数：400 MHz
・二次元、固体（CP/MAS）
・多核（15N、19F、23Na、27Al、31P、77Se、113Cd、129Xe、195Pt 等）測定可能
- 設備状況
- 稼働中