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プラズマ表面改質装置 (Plasama Surface Modificaton Equipment)
- 設備ID
- UT-805
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- AQ-50
- 仕様・特徴
- 特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。
- 設備状況
- 稼働中
機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer)
- 設備ID
- UT-851
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- ポリテック (Polyltec)
- 型番
- MSA-500
- 仕様・特徴
- Polytec 振動解析装置
MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ(1MHz)、Z方向はレーザードップラー振動計(1.5MHz)またはレーザ変位計(24MHz)にて測定可能です。
測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。
- 設備状況
- 稼働中
半導体パラメータアナライザー (Semiconductor Parameter Analyzer)
- 設備ID
- UT-852
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- キーサイト (KEYSIGHT)
- 型番
- B1500A
- 仕様・特徴
- キーサイト社製。IV測定、CV測定の他、最先端のデバイス評価で必要とされる高速パルスドIV測定まで、様々な測定に対応しており、各種デバイス、材料、半導体、能動部品/受動部品をはじめ、あらゆる電子デバイスの特性評価に最適です。
- 設備状況
- 稼働中
簡易電子顕微鏡 (Tabletop SEM)
- 設備ID
- UT-853
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- TM-3030Plus
- 仕様・特徴
- 卓上顕微鏡、EDX付
- 設備状況
- 稼働中
オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy)
- 設備ID
- UT-854
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- PHI680
- 仕様・特徴
- 元素分析装置。 対象の極表面から出て来るオージェ電子のエネルギー分光計測によって元素を調べることが出来る。
アルゴンミリングと併用でき、深さ方向のプロファイルを測定することができる。
- 設備状況
- 稼働中
高精細電子顕微鏡 (Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope (SEM))
- 設備ID
- UT-855
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus 8230
- 仕様・特徴
- 分解能は1 kVで0.7 nm。最高倍率は200万倍の電界放出電子源を用いた高分解能走査型電子顕微鏡
- 設備状況
- 稼働中
12インチプローバー (12inch Prober)
- 設備ID
- UT-856
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- Cascade (Cascade)
- 型番
- Elite300
- 仕様・特徴
- シールドチャンバー付き
- 設備状況
- 稼働中
Elite300 附属電気特性測定装置 (Electronic measurement system attaced to Elite 300)
- 設備ID
- UT-857
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- Cascade (Cascade)
- 型番
- Elite 300
- 仕様・特徴
- B1500A,DS090804A,N6705B,81160A,3498-A,DSO-Xを含むラック。MicroChamber、AttoGuard、AttoGuard、および PureLine テクノロジーを備えた半自動プローブ ステーション プラットフォーム。
- 設備状況
- 稼働中
電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope (SEM))
- 設備ID
- UT-858
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- 日本電子㈱ (JEOL)
- 型番
- JSM-6610LV Oxford X-max50 + Energy 250
- 仕様・特徴
- エネルギー分散型X線分析装置(元素分析装置)付きの走査電子顕微鏡です。
- 設備状況
- 稼働中
小型原子間力顕微鏡 (Atomin Force Microscope (AFM))
- 設備ID
- UT-859
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- SPA400+SPI4000
- 仕様・特徴
- 日立ハイテクサイエンス(旧SII社製)AFM。試料サイズ:φ35mm厚み10mm、スキャナー走査範囲:150μm×150μm(高さ5μm)、20μm×20μm(高さ1.5μm)、AFMモード、DFMモード
- 設備状況
- 稼働中