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スプレー現像装置 (Spray developer)

設備ID
TU-059
設置機関
東北大学
設備画像
スプレー現像装置
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ADE-3000S
仕様・特徴
サンプルサイズ:3~6インチ
設備状況
稼働中

現像ドラフト (Draft chamber for development)

設備ID
TU-060
設置機関
東北大学
設備画像
現像ドラフト
メーカー名
- (-)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
設備状況
稼働中

コータデベロッパ (Coater developer)

設備ID
TU-062
設置機関
東北大学
設備画像
コータデベロッパ
メーカー名
Suss (Suss)
型番
ACS200Gen3
仕様・特徴
サンプルサイズ:2~8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
設備状況
稼働中

ポリイミドキュア炉 (Curing oven)

設備ID
TU-066
設置機関
東北大学
設備画像
ポリイミドキュア炉
メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
DN43H
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
温度:最高350℃
設備状況
稼働中

UV キュア装置 (UV curing)

設備ID
TU-067
設置機関
東北大学
設備画像
UV キュア装置
メーカー名
ウシオ電機 (Ushio)
型番
UMA-802
仕様・特徴
サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット
設備状況
稼働中

プラズマクリーナー (Plasma cleaner)

設備ID
TU-211
設置機関
東北大学
設備画像
プラズマクリーナー
メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
PDC210
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
基板固定方式:静置(温度制御不可)
プラズマ方式:CCP、バレル式
ガス:O2、Ar
設備状況
稼働中

アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)

設備ID
TU-212
設置機関
東北大学
設備画像
アルバック アッシング装置
メーカー名
アルバック (Ulvac)
型番
UNA-2000
仕様・特徴
サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式:CCP(2.45GHz)
ガス:O2、H2フォーミングガス
設備状況
稼働中

ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)

設備ID
TU-213
設置機関
東北大学
設備画像
ブランソン アッシング装置
メーカー名
ブランソン (Branson)
型番
IPC4000
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
サンプルは石英治具に載せる
プラズマ方式:バレル式
ガス:O2
設備状況
稼働中

エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)

設備ID
TU-265
設置機関
東北大学
設備画像
エキシマ洗浄装置
メーカー名
デアネヒステ (Dernaechste)
型番
EXC-1201-DN
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~4インチ
ガス:O2
設備状況
稼働中

卓上アッシング装置 (Compact Ashing Machine)

設備ID
UT-501
設置機関
東京大学
設備画像
卓上アッシング装置
メーカー名
サムコ (SAMCO)
型番
FA-1
仕様・特徴
SAMCO FA-1 コンパクトなドライエッチャー。東大微細加工拠点では酸素アッシング専用装置として使っています。
主用途はフォトマスクのウェットエッチング直前の処理(デスカム)で、プラズマの作用によりエッチング面が濡れ性となり、フォトマスクの仕上がり寸法とエッジのシャープさが向上します。
設備状況
稼働中
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