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スプレー現像装置 (Spray developer)
- 設備ID
- TU-059
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ADE-3000S
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:3~6インチ
- 設備状況
- 稼働中
現像ドラフト (Draft chamber for development)
- 設備ID
- TU-060
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- - (-)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~8インチ
- 設備状況
- 稼働中
コータデベロッパ (Coater developer)
- 設備ID
- TU-062
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- Suss (Suss)
- 型番
- ACS200Gen3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:2~8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
- 設備状況
- 稼働中
ポリイミドキュア炉 (Curing oven)
- 設備ID
- TU-066
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DN43H
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~8インチ
温度:最高350℃
- 設備状況
- 稼働中
UV キュア装置 (UV curing)
- 設備ID
- TU-067
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- ウシオ電機 (Ushio)
- 型番
- UMA-802
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット
- 設備状況
- 稼働中
プラズマクリーナー (Plasma cleaner)
- 設備ID
- TU-211
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- PDC210
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
基板固定方式:静置(温度制御不可)
プラズマ方式:CCP、バレル式
ガス:O2、Ar
- 設備状況
- 稼働中
アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)
- 設備ID
- TU-212
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- UNA-2000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式:CCP(2.45GHz)
ガス:O2、H2フォーミングガス
- 設備状況
- 稼働中
ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)
- 設備ID
- TU-213
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- ブランソン (Branson)
- 型番
- IPC4000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
サンプルは石英治具に載せる
プラズマ方式:バレル式
ガス:O2
- 設備状況
- 稼働中
エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)
- 設備ID
- TU-265
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- デアネヒステ (Dernaechste)
- 型番
- EXC-1201-DN
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~4インチ
ガス:O2
- 設備状況
- 稼働中
卓上アッシング装置 (Compact Ashing Machine)
- 設備ID
- UT-501
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- FA-1
- 仕様・特徴
- SAMCO FA-1 コンパクトなドライエッチャー。東大微細加工拠点では酸素アッシング専用装置として使っています。
主用途はフォトマスクのウェットエッチング直前の処理(デスカム)で、プラズマの作用によりエッチング面が濡れ性となり、フォトマスクの仕上がり寸法とエッジのシャープさが向上します。
- 設備状況
- 稼働中