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UVオゾンクリーナー [UV-1] (UV Ozone Cleaner [UV-1])
- 設備ID
- NM-606
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![UVオゾンクリーナー [UV-1]](data/facility_item/NM-606.jpg)
- メーカー名
- サムコ (samco)
- 型番
- UV-1
- 仕様・特徴
- ・用途：基板クリーニング，表面改質
・光源：紫外線ランプ （184.9nmおよび253.7nm）
・オゾンジェネレータ：無声放電方式高濃度オゾナイザー
・ステージ温度：室温～300度
・最大試料サイズ：φ8 inch
- 設備状況
- 稼働中
スピンコータ (Spin Coater)
- 設備ID
- RO-121
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- タツモ（株） (TAZMO)
- 型番
- 仕様・特徴
- 対応wafer：２inch、cut wafer
レジスト塗布
- 設備状況
- 稼働中
プログラム・ホットプレート (Program hot plate)
- 設備ID
- RO-122
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アズワン株式会社 (AS ONE)
- 型番
- EC-1200NP
- 仕様・特徴
- ・16ステップ以内のプログラムを4パターン記憶
・制御可能温度範囲：室温＋50 ～ 300℃
・プレート面積：412*312mm
- 設備状況
- 稼働中
有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)
- 設備ID
- TU-002
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
真空オーブン (Vacuum oven)
- 設備ID
- TU-008
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DP-31
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
温度：最高200℃
- 設備状況
- 稼働中
ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)
- 設備ID
- TU-051
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ミカサ (Mikasa)
- 型番
- 1H-DXII
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
アクテス スピンコータ#1 (Spin coater)
- 設備ID
- TU-052
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ASC-4000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)
- 設備ID
- TU-053
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ASC-4000W
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4，6，8インチ
- 設備状況
- 稼働中
ホットプレート (Hot plate)
- 設備ID
- TU-054
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Shamal (Shamal)
- 型番
- HHP-230SQ
- 仕様・特徴
- 設定温度：40～400℃
温度分布精度：±1℃
- 設備状況
- 稼働中
クリーンオーブン (Clean oven)
- 設備ID
- TU-055
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DE62
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中