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エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)

設備ID
TU-265
設置機関
東北大学
設備画像
エキシマ洗浄装置
メーカー名
デアネヒステ (Dernaechste)
型番
EXC-1201-DN
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~4インチ
ガス:O2
設備状況
稼働中
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