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光露光(マスクアライナ)(24)
光露光(ステッパ)(3)
光露光(マスクレス、直接描画)(33)
電子線描画(EB)(25)
ナノインプリント(11)
レジスト処理装置(36)
その他(5)
表示件数
10件
50件
100件
エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)
設備ID
TU-265
設置機関
東北大学
設備画像
メーカー名
デアネヒステ (Dernaechste)
型番
EXC-1201-DN
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~4インチ
ガス:O
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設備状況
稼働中
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