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"光露光（ステッパ）"で検索した結果 3件
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i線露光装置 (i-Line Stepper)
- 設備ID
- AT-011
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- ニコン (Nikon)
- 型番
- NSR-2205i12D
- 仕様・特徴
- ・形式:NSR-2205i12D
・試料サイズ:2インチφ～8インチφ
20 mm, 18mm, 15 mm, 10 mm□クーポン
・露光光源:i線(波長365 nm)
・解像度:350 nm以下
・最大N.A.:0.63
・縮小倍率:5分の1倍
・露光範囲:22 mm□(ウェハー上)
・レチクル:6インチ石英ガラス(6025)
・総合アライメント精度:55 nm以下
- 設備状況
- 稼働中
露光装置（ステッパー） (i-line Stepper)
- 設備ID
- KT-102
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)ニコン (NIKON CORPORATION)
- 型番
- NSR-2205i11D
- 仕様・特徴
- i線光源を用いたステップアンドリピート方式の縮小投影露光装置。
・解像度：<0.35μm
・光源：i線（365nm）
・絞り：通常、輪帯、Shrink
・縮小倍率：1/5倍（N.A. 0.63、0.57）
・露光範囲：MAX □22mm
・アライメント：LSA、FIA
・基板サイズ：Φ4,Φ6（透明基板対応）
- 設備状況
- 稼働中
i線ステッパ (i-line stepper)
- 設備ID
- TU-063
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- キヤノン (Canon)
- 型番
- FPA-3030i5+
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
対応オリフラ(OF)：4と6インチはOF(JEITA/SEMI)、8インチはノッチ
カセットtoカセット
波長：365nm
最小露光線幅：0.35μm以下
重ね合せ精度 ：40nm
レチクル：6インチ（6025）
両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応
- 設備状況
- 稼働中
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