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両面マスクアライナー (Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner)

設備ID
KT-155
設置機関
京都大学
設備画像
両面マスクアライナー
メーカー名
ズース・マイクロテック(株) (SUSS MicroTec)
型番
MA6 BSA SPEC-KU/3
仕様・特徴
高性能手動両面マスクアライナ装置。
・光源:高圧UVランプ350W(h、i線)
・基板サイズ:Φ4"、Φ6"
・露光モード:コンタクト(ソフト、ハード)、プロキシミティ
・アライメント精度 :±0.5um@表面、 ±0.1um@裏面
・厚膜レジスト対応
設備状況
稼働中

基板接合装置 (Wafer Bonder)

設備ID
KT-217
設置機関
京都大学
設備画像
基板接合装置
メーカー名
ズース・マイクロテック(株) (SUSS MicroTec)
型番
SB8e SPEC-KU
仕様・特徴
プログラマブル接合チャンバを備えた半自動基板接合装置。
・基板サイズ:Φ150mm
・荷重:MAX 20kN
・温度:MAX 550℃
・接合プロセス:陽極接合、拡散接合、熱圧着、接着接合 ほか
設備状況
稼働中

両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)

設備ID
NU-208
設置機関
名古屋大学
設備画像
両面露光用マスクアライナ
メーカー名
Suss MicroTec AG (Suss MicroTec AG)
型番
MA-6
仕様・特徴
・対応基板サイズ:10mm~最大6インチ径ウェハ
・主波長:350 nm〜450 nm
・裏面アラインメント機能(CCD画像記憶方式)
・アライメント精度:±0.5 µm(表面アラインメント),±0.1 µm(裏面アラインメント)
設備状況
稼働中

フォトリソグラフィ装置群 (photo lighography system)

設備ID
NU-223
設置機関
名古屋大学
設備画像
フォトリソグラフィ装置群
メーカー名
共和理研 (Kyowariken)
型番
K310P100S
仕様・特徴
・最大2インチ基板
・マスクサイズ:3インチ
・最小パタンサイズ 2µm
・スピンコータ,ベーク炉,ドラフトチャンバー利用可
設備状況
稼働中

両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)

設備ID
NU-250
設置機関
名古屋大学
設備画像
両面露光用マスクアライナ
メーカー名
Suss MicroTec AG (Suss MicroTec AG)
型番
MJB-3
仕様・特徴
・最大ウェーハサイズ:3 inch(吸引モード),4 inch(ソフトコンタクト)
・照射範囲:3×3 inch
・対応基板厚さ:4.5 mm
両面露光:可能(赤外線照明)
設備状況
稼働中

マスクアライナ (Mask aligner)

設備ID
NU-251
設置機関
名古屋大学
設備画像
マスクアライナ
メーカー名
ナノテック (Nanometric Technology)
型番
LA410
仕様・特徴
・適応マスク:最大 5 inch
・適応資料:最大Φ4 inch
・有効露光範囲:Φ80 mm以上
設備状況
稼働中

両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)

設備ID
NU-257
設置機関
名古屋大学
設備画像
両面露光用マスクアライナ
メーカー名
ユニオン光学 (Union)
型番
PEM800
仕様・特徴
・両面露光が可能
・対応基板サイズ:最大4インチ
・最小パターン:3.0μm
設備状況
稼働中

マスクアライナー (Mask aligner)

設備ID
OS-107
設置機関
大阪大学
設備画像
マスクアライナー
メーカー名
ミカサ (Mikasa)
型番
MA-10
仕様・特徴
【特徴】
UV露光、マニュアルタイプ、コンタクト露光機。二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメント。
【仕様】
試料は 2 inch φ、マスクは 3 inch角まで対応
水銀灯250W光源(ブロード波長)
二視野顕微鏡採用
設備状況
稼働中

マスクアライナ装置 (Mask aligner)

設備ID
TT-006
設置機関
豊田工業大学
設備画像
マスクアライナ装置
メーカー名
ズース・マイクロテック  (SUSS MicroTec)
型番
MA6
仕様・特徴
・裏面アライメント可能、i線フィルタ付き
・付帯装置:レジストのスピンコータ共和理研K-359SDなど
設備状況
稼働中

両面アライナ (Double-side aligner)

設備ID
TU-056
設置機関
東北大学
設備画像
両面アライナ
メーカー名
SUSS (SUSS)
型番
MA6/BA6
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
露光波長:ブロードバンド、i線
最小露光線幅:~0.7μm
アライメント精度(片面):~1μm
アライメント精度(両面):~3μm
設備状況
稼働中
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