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両面マスクアライナー (Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner)
- 設備ID
- KT-155
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像

- メーカー名
- ズース・マイクロテック(株) (SUSS MicroTec)
- 型番
- MA6 BSA SPEC-KU/3
- 仕様・特徴
- 高性能手動両面マスクアライナ装置。
・光源:高圧UVランプ350W(h、i線)
・基板サイズ:Φ4"、Φ6"
・露光モード:コンタクト(ソフト、ハード)、プロキシミティ
・アライメント精度 :±0.5um@表面、 ±0.1um@裏面
・厚膜レジスト対応
- 設備状況
- 稼働中
基板接合装置 (Wafer Bonder)
- 設備ID
- KT-217
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像

- メーカー名
- ズース・マイクロテック(株) (SUSS MicroTec)
- 型番
- SB8e SPEC-KU
- 仕様・特徴
- プログラマブル接合チャンバを備えた半自動基板接合装置。
・基板サイズ:Φ150mm
・荷重:MAX 20kN
・温度:MAX 550℃
・接合プロセス:陽極接合、拡散接合、熱圧着、接着接合 ほか
- 設備状況
- 稼働中
両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)
- 設備ID
- NU-208
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像

- メーカー名
- Suss MicroTec AG (Suss MicroTec AG)
- 型番
- MA-6
- 仕様・特徴
- ・対応基板サイズ:10mm~最大6インチ径ウェハ
・主波長:350 nm〜450 nm
・裏面アラインメント機能(CCD画像記憶方式)
・アライメント精度:±0.5 µm(表面アラインメント),±0.1 µm(裏面アラインメント)
- 設備状況
- 稼働中
フォトリソグラフィ装置群 (photo lighography system)
- 設備ID
- NU-223
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像

- メーカー名
- 共和理研 (Kyowariken)
- 型番
- K310P100S
- 仕様・特徴
- ・最大2インチ基板
・マスクサイズ:3インチ
・最小パタンサイズ 2µm
・スピンコータ,ベーク炉,ドラフトチャンバー利用可
- 設備状況
- 稼働中
両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)
- 設備ID
- NU-250
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像

- メーカー名
- Suss MicroTec AG (Suss MicroTec AG)
- 型番
- MJB-3
- 仕様・特徴
- ・最大ウェーハサイズ:3 inch(吸引モード),4 inch(ソフトコンタクト)
・照射範囲:3×3 inch
・対応基板厚さ:4.5 mm
両面露光:可能(赤外線照明)
- 設備状況
- 稼働中
マスクアライナ (Mask aligner)
- 設備ID
- NU-251
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像

- メーカー名
- ナノテック (Nanometric Technology)
- 型番
- LA410
- 仕様・特徴
- ・適応マスク:最大 5 inch
・適応資料:最大Φ4 inch
・有効露光範囲:Φ80 mm以上
- 設備状況
- 稼働中
両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)
- 設備ID
- NU-257
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像

- メーカー名
- ユニオン光学 (Union)
- 型番
- PEM800
- 仕様・特徴
- ・両面露光が可能
・対応基板サイズ:最大4インチ
・最小パターン:3.0μm
- 設備状況
- 稼働中
マスクアライナー (Mask aligner)
- 設備ID
- OS-107
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像

- メーカー名
- ミカサ (Mikasa)
- 型番
- MA-10
- 仕様・特徴
- 【特徴】
UV露光、マニュアルタイプ、コンタクト露光機。二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメント。
【仕様】
試料は 2 inch φ、マスクは 3 inch角まで対応
水銀灯250W光源(ブロード波長)
二視野顕微鏡採用
- 設備状況
- 稼働中
マスクアライナ装置 (Mask aligner)
- 設備ID
- TT-006
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像

- メーカー名
- ズース・マイクロテック (SUSS MicroTec)
- 型番
- MA6
- 仕様・特徴
- ・裏面アライメント可能、i線フィルタ付き
・付帯装置:レジストのスピンコータ共和理研K-359SDなど
- 設備状況
- 稼働中
両面アライナ (Double-side aligner)
- 設備ID
- TU-056
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- SUSS (SUSS)
- 型番
- MA6/BA6
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
露光波長:ブロードバンド、i線
最小露光線幅:~0.7μm
アライメント精度(片面):~1μm
アライメント精度(両面):~3μm
- 設備状況
- 稼働中