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試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス (Sample preparation devices・Spin coater・Spin coater・Glovebox)
- 設備ID
- CT-030
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ミカサ共和理研美輪製作所 (MikasaKYOWARIKENMiwa Manufacturing)
- 型番
- 1HD7 K-359S1 下置きガス循環精製装置付パージ式
- 仕様・特徴
- グローブボックス
・パージ式ガス置換型
・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造
- 設備状況
- 稼働中
屈折率測定装置（プリズムカプラ） (Refractometer (Prism Coupler))
- 設備ID
- CT-031
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- メトリコン (Metricon)
- 型番
- Model 2010/M
- 仕様・特徴
- ・光源波長：633nm（He-Neレーザー）
・屈折率精度：±0.0005
・透明バルクおよび透明フィルムの高精度屈折率
・膜厚と屈折率の同時計測（10～15ミクロン膜厚まで）
- 設備状況
- 稼働中
分光蛍光光度計 (Spectrofluorometer)
- 設備ID
- CT-032
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- FP-8550
- 仕様・特徴
- ・測定波長範囲：200～850nm
- 設備状況
- 稼働中
X線回折装置（XRD） (X-ray diffractometer (XRD))
- 設備ID
- CT-033
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- D8 DISCOVER
- 仕様・特徴
- ・1次元粉末X線測定モジュール
・2次元広角/小角X線測定モジュール
・超小角（USAXS）測定モジュール
・GI-WAXD/SAXS測定モジュール
・高温試料チャンバー（室温~1100℃）
- 設備状況
- 稼働中
電子スピン共鳴装置（ESR） (Electron spin resonance spectrometer (ESR))
- 設備ID
- CT-034
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- E-500
- 仕様・特徴
- ・X-band 連続波発振 (約9 G Hz)
・TE011型円筒キャビティ装備（検出感度109 spins/Gauss)
・磁場変調周波数:12.5 KHz or 100 KHz
・外径5 mmφ石英試料管に適合
・簡易的な角度回転測定可能
- 設備状況
- 稼働中
電子線描画装置 (Electron beam lithography system)
- 設備ID
- GA-001
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- エリオニクス (Elionix)
- 型番
- ELS-7500EX
- 仕様・特徴
- 加速電圧：50kV、30kV、20kV
描画可能な最小線幅10nm
フィールドつなぎ精度50nm 以下
描画対象：6インチまで対応可能
所要時間：線幅1μm／2インチウエハ；5～6時間
線幅10nm／2インチウエハ；4日間
- 設備状況
- 稼働中
マスクレス露光装置 (Mask-less exposure system)
- 設備ID
- GA-002
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- 大日本科研 (Jpn.Sci.Eng.)
- 型番
- MX-1204
- 仕様・特徴
- DMDによるパターン生成露光、
光源:LD(波長375±5nm)
描画方法:直接描画
描画対象:150mm角、
最小描画精度:最小線幅1μm程度、
アライメント精度±0.15μm
- 設備状況
- 稼働中
スピンコータ－ (Spin-coater)
- 設備ID
- GA-003
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- ミカサ (MIKASA)
- 型番
- MS-B150
- 仕様・特徴
- 回転塗布式 １ヘッド
真空吸着方式
試料サイズ：最大154mmφ1mmt
回転数：300–7000r.p.m
回転精度：±1r.p.m
回転時間：最大999.9sec（合計）
回転制御：プログラム方式・最大100段入力可
- 設備状況
- 稼働中
デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 (Dual ion beam sputtering system)
- 設備ID
- GA-004
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- ハシノッテク (Hashino-tech)
- 型番
- 10W-IBS
- 仕様・特徴
- 4in-IBS
熱陰極型イオン源:2基（:50～1000eV）
基板加熱温度:最大700゜C
膜形成中のイオン同時照射機能
イオンビ－ムエッチング機能
【ビームガン1：エッチング用】
イオン銃：熱陰極型
イオン化ガス：Ar
ビーム電圧：100～1200V
ビーム電流：50～300mA
加速電圧：75～500V
イオン流密度：0.3～0.6mA/cm2 (500V加速時)
ビーム有効径：φ4インチ(分布測定可能)
真空度：～8ｘ10-5Pa
試料寸法：φ4インチまで
【ビームガン2：デポジション用】
イオン銃：熱陰極型
イオン化ガス：Ar
ビーム電圧：100～1200V
ビーム電流：50～300mA
加速電圧：75～500V
ターゲット：Au、Cr、Tiほか
ステージ角度：ターゲットに対し-90～+90℃設定可
ステージ位置：上下50mm調整可
真空度：～8ｘ10-5Pa
試料寸法：φ4インチまで
- 設備状況
- 稼働中
触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system)
- 設備ID
- GA-005
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- Dektak8
- 仕様・特徴
- 測定分解能:最小:0.1nm
垂直分解能/レンジ：1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ
サンプルサイズ：直径210mm
測定長さ：50μm〜50mm
最大サンプリング数：30,000点
測定加重：1〜15mg
自動多点測定数：最高200点
サンプル観察：
トップビュー（低倍率カラー）10mm
サイドビュー（高倍率カラー）1mm
測定再現性:1nm以下
- 設備状況
- 稼働中