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プラズマ表面改質装置  (Plasama Surface Modificaton Equipment)

設備ID
UT-805
設置機関
東京大学
設備画像
プラズマ表面改質装置
メーカー名
サムコ (SAMCO)
型番
AQ-50
仕様・特徴
特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。
設備状況
稼働中

機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer)

設備ID
UT-851
設置機関
東京大学
設備画像
機械特性評価装置
メーカー名
ポリテック (Polyltec)
型番
MSA-500
仕様・特徴
Polytec 振動解析装置
MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ(1MHz)、Z方向はレーザードップラー振動計(1.5MHz)またはレーザ変位計(24MHz)にて測定可能です。
測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。
設備状況
稼働中

半導体パラメータアナライザー (Semiconductor Parameter Analyzer)

設備ID
UT-852
設置機関
東京大学
設備画像
半導体パラメータアナライザー
メーカー名
キーサイト (KEYSIGHT)
型番
B1500A
仕様・特徴
キーサイト社製。IV測定、CV測定の他、最先端のデバイス評価で必要とされる高速パルスドIV測定まで、様々な測定に対応しており、各種デバイス、材料、半導体、能動部品/受動部品をはじめ、あらゆる電子デバイスの特性評価に最適です。
設備状況
稼働中

簡易電子顕微鏡 (Tabletop SEM)

設備ID
UT-853
設置機関
東京大学
設備画像
簡易電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
TM-3030Plus
仕様・特徴
卓上顕微鏡、EDX付
設備状況
稼働中

オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy)

設備ID
UT-854
設置機関
東京大学
設備画像
オージェ分光分析装置
メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
PHI680
仕様・特徴
元素分析装置。 対象の極表面から出て来るオージェ電子のエネルギー分光計測によって元素を調べることが出来る。
アルゴンミリングと併用でき、深さ方向のプロファイルを測定することができる。
設備状況
稼働中

高精細電子顕微鏡 (Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope (SEM))

設備ID
UT-855
設置機関
東京大学
設備画像
高精細電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
Regulus 8230
仕様・特徴
分解能は1 kVで0.7 nm。最高倍率は200万倍の電界放出電子源を用いた高分解能走査型電子顕微鏡
設備状況
稼働中

12インチプローバー  (12inch Prober)

設備ID
UT-856
設置機関
東京大学
設備画像
12インチプローバー
メーカー名
Cascade (Cascade)
型番
Elite300
仕様・特徴
シールドチャンバー付き
設備状況
稼働中

Elite300 附属電気特性測定装置  (Electronic measurement system attaced to Elite 300)

設備ID
UT-857
設置機関
東京大学
設備画像
Elite300 附属電気特性測定装置
メーカー名
Cascade (Cascade)
型番
Elite 300
仕様・特徴
B1500A,DS090804A,N6705B,81160A,3498-A,DSO-Xを含むラック。MicroChamber、AttoGuard、AttoGuard、および PureLine テクノロジーを備えた半自動プローブ ステーション プラットフォーム。
設備状況
稼働中

電子顕微鏡  (Scanning Electron Microscope (SEM))

設備ID
UT-858
設置機関
東京大学
設備画像
電子顕微鏡
メーカー名
日本電子㈱ (JEOL)
型番
JSM-6610LV Oxford X-max50 + Energy 250
仕様・特徴
エネルギー分散型X線分析装置(元素分析装置)付きの走査電子顕微鏡です。
設備状況
稼働中

小型原子間力顕微鏡  (Atomin Force Microscope (AFM))

設備ID
UT-859
設置機関
東京大学
設備画像
小型原子間力顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
型番
SPA400+SPI4000
仕様・特徴
日立ハイテクサイエンス(旧SII社製)AFM。試料サイズ:φ35mm厚み10mm、スキャナー走査範囲:150μm×150μm(高さ5μm)、20μm×20μm(高さ1.5μm)、AFMモード、DFMモード
設備状況
稼働中
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