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枚葉式ZEP520自動現像装置 (ZEP520 Auto Developing Machine)
- 設備ID
- UT-506
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス京三 (Actes Kyosan)
- 型番
- ADE-3000S（Big）
- 仕様・特徴
- ZEP520電子線用レジストの自動現像装置
- 設備状況
- 稼働中
スプレーコーター (Spray Coater)
- 設備ID
- UT-507
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクティブ (ACTIVE)
- 型番
- ACT-300AⅡS
- 仕様・特徴
- 厚膜のレジストを塗布できるスプレーコーター
- 設備状況
- 稼働中
電子線描画用近接効果補正ソフト (Procxymity effect correction for electron beam lithography)
- 設備ID
- UT-508
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- GenISys (GenISys GmbH)
- 型番
- Beamer
- 仕様・特徴
- 電子線描画時に生じる近接効果を補正して設計通りのレズストパターンを電子線で描画するためのパターン補正システム。グレースケール露光用のデータ生成が可能。
- 設備状況
- 稼働中
枚葉式自動リフトオフ装置 (Automatic liftoff system)
- 設備ID
- UT-509
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- エイ・エス・エイ・ピイ (ASAP)
- 型番
- LOA34-8-5-09
- 仕様・特徴
- リフトオフを自動で行い成功確立が上がります。
- 設備状況
- 稼働中
自動フォトマスクエッチング装置AEP-3000S (Auto Photomask Etching Machine)
- 設備ID
- UT-510
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス京三（株） (ActesKyosan Inc)
- 型番
- AEP-3000S
- 仕様・特徴
- 東京大学の電子線描画装置を用いて5009サイズのフォトマスクを作製するために使用する自動クロムエッチング装置。
試料サイズ：Φ2ｰΦ6インチ、または100x100mm
プログラム設定：1プログラム最大99ステップ、50プログラム保存可能
回転数： ０－3000rpm
開店時間： ０－999sec
ノズル：薬液 2系等、リンス １系統
- 設備状況
- 稼働中
レーザー直接描画装置DWL66+2024 (Laser Drawing System DWL66+2024)
- 設備ID
- UT-511
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ハイデルベルグ (Heidelberg)
- 型番
- DWL66+ (2024，375nm）
- 仕様・特徴
- 波長375nm(半導体レーサー 70mW) 小片アライメントオプション、両面アライメント機能付き。最小リソグラフィサイズ 0.3μm、重ねリソグラフィ精度±３σで500 nm以下(解像度による)、 128階調の「グレイスケールリソグラフィー」により,フォトレジストの立体形状段差をある程度自由に作れる。また、GenISys社の変換ソフトウェア「BEAMER」を使うと、形状を得るために、近接効果の影響を計算して露光補正が可能。
- 設備状況
- 稼働中
枚様式HMDS処理装置APPS-30 (Single-wafer type HMDS surface treatment machine)
- 設備ID
- UT-512
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- リソテックジャパン (Litho Tech Japan)
- 型番
- APPS-30
- 仕様・特徴
- シリコン表面(シラノールSi-O基）をHMDSでメチル基に置換疎水化し、レジスト現像時の密着性を改善する表面処理。スピンコーターを共用してHMDSを塗布すると、発生するアンモニアによって、レジストによっては悪影響が出る。本装置はHMDS塗布専用装置なので悪影響の心配が無い。
基板サイズ：2インチ～300mmウエハ
ベーク温度：60～150℃
HMDS供給：内臓バブリングシステム
- 設備状況
- 稼働中
スプレーコーター (Spray Coater)
- 設備ID
- UT-513
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 三明電子産技株式会社 (Sanmei Electronics Co. Ltd.)
- 型番
- DC111
- 仕様・特徴
- 本装置はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。
１．MEMSデバイスに対応
２．凸凹面への膜厚均一塗布
３．ビア、トレンチ埋め込み塗布
４．ヒータ内蔵試料台を装備。最大100℃までの試料温度制御が可能です。
５．サーボモータは、低振動、低発熱、高精度の弊社「Si-servo」を使用しています。
- 設備状況
- 稼働中
フィルムラミネーター (Film laminator)
- 設備ID
- UT-514
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 大成ラミネーター株式会社 (Taise Laminator Co. Ltd.)
- 型番
- MAⅡ-550
- 仕様・特徴
- 感光性ドライフィルのカバーフィルムを剥がしながら、フォトレジスト・キャリアフィルを常圧ホットロールにより加熱/加圧し、フォトレジスト層を接着剤として基板の両面に連続的にラミネートする装置です。
・有効50-400mm。小サイズ基板、試作、実験用。
・室温-150℃
- 設備状況
- 稼働中
自動フォトマスク現像装置 (Automatic Photomask Developper)
- 設備ID
- UT-515
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス京三株式会社 (Actes Kyosan Co.)
- 型番
- ADE-3000S-MASK
- 仕様・特徴
- フォトマスク（4、5インチ）の自動現像（現像→リンスン→振り切り）ができます。（製品はウエハの自動現像装置ですが、本拠点ではフォトマスク専用の現像装置として利用しています。）
- 設備状況
- 稼働中