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分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer)

設備ID
AT-063
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
分光エリプソメータ
メーカー名
堀場 Jovin-Yvon (Horiba Jovin-Yvon)
型番
UVISEL-M200-FUV-FGMS
仕様・特徴
・型式:UVISEL-M200-FUV-FGMS
・試料サイズ:150mmφ
・ステージ上下調整幅:20mm
・波長範囲:190~826nm(1.5~6.5eV)
設備状況
稼働中

分光エリプソメータ (Ellipsometer)

設備ID
BA-019
設置機関
筑波大学
設備画像
分光エリプソメータ
メーカー名
堀場製作所 (Horiba)
型番
UVISEL Plus
仕様・特徴
PEMを利用した位相変調方式により、外光の影響を受けにくい分光エリプソメーター

測定波長:190~2100 nm(波長分解能力:2 nm)
スポットサイズ:0.05, 0.1, 1mmφ(垂直入射時)を選択
設備状況
稼働中

エリプソメータ (Film thickness measuring system)

設備ID
GA-012
設置機関
香川大学
設備画像
エリプソメータ
メーカー名
溝尻光学 (Mizojiri-opt)
型番
DHA-XA/M8
仕様・特徴
膜厚と屈折率を測定可能
処理物:~12インチウェハ 光源波長:632.8nm(He-Neレーザー)
入射角:55°~75°,90°
入射角設定単位:0.01°
最小分解能:1Å
分布計測分解能:0.01mm
設備状況
稼働中

エリプソメータ (Ellipsometry)

設備ID
HK-706
設置機関
北海道大学
設備画像
エリプソメータ
メーカー名
日本分光 (JASCO)
型番
M-500S
仕様・特徴
Xe光源, 測定波長:350~800nm, 試料水平置き
設備状況
稼働中

エリプソメーター [MARY-102FM] (Ellipsometer [MARY-102FM])

設備ID
NM-625
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
エリプソメーター [MARY-102FM]
メーカー名
ファイブラボ (five Lab)
型番
MARY-102FM
仕様・特徴
・用途:絶縁膜形成評価
・光源:632nm He-Neレーザー
・ビーム径:0.8mm
・入射角:50°,60°,70°
・最大試料サイズ:φ6inch
設備状況
稼働中

分光エリプソメーター [M2000] (Spectroscopic Ellipsometer [M2000])

設備ID
NM-655
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
分光エリプソメーター [M2000]
メーカー名
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社 (J.A.Woollam Co., Inc.)
型番
M2000
仕様・特徴
・波長範囲:250 ~ 1000 nm
・補償子:回転式
・入射角:自動制御、45~90°
設備状況
稼働中

分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (Spectroscopic Ellipsometer [UNECS-2000A])

設備ID
NM-663
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
UNECS-2000A
仕様・特徴
1. 光源:ハロゲンランプ
2. 波長範囲:530~750 nm
3. スポット径:1mm
4. 入射角:70°固定
5. 試料サイズ:最大φ200mm
設備状況
稼働中

分光エリプソメーター (Spectroscopic Ellipsometer)

設備ID
NR-702
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
分光エリプソメーター
メーカー名
堀場ージョバンイボン (HORIBA JOBIN YVON)
型番
UVISEL ER AGMS-NSD
仕様・特徴
・波長範囲: 0.6 eV 〜 6.0 eV(206 nm 〜2066 nm )
・スポット径: 約 5 mm * 2 mm
設備状況
稼働中

分光エリプソメーター (Spectroscopic ellipsometer)

設備ID
RO-531
設置機関
広島大学
設備画像
分光エリプソメーター
メーカー名
J.A. Woollam Japan (J.A. Woollam Japan)
型番
M2000-D
仕様・特徴
測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193~1000nm、
設備状況
稼働中

エリプソメーター (Ellipsometer)

設備ID
TT-016
設置機関
豊田工業大学
設備画像
エリプソメーター
メーカー名
ガ-トナ- (Gartner Sci. Corp.)
型番
LSE
仕様・特徴
・シリコン酸化膜あるいはSiN膜等の単層あるいは2層膜の膜厚測定
・φ6インチ以下基板
設備状況
稼働中
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