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膜厚計 (Film thickness measurement)

設備ID
TU-302
設置機関
東北大学
設備画像
膜厚計
メーカー名
ナノメトリクス (Nanometrics)
型番
NanoSpec3000
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
設備状況
稼働中
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