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触針式段差計 (Contact Profiler)

設備ID
AT-045
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
触針式段差計
メーカー名
KLA テンコール (KLA-Tencor)
型番
Alpha-Step IQ
仕様・特徴
・型式:Alpha-Step IQ
・試料サイズ:4インチ
・測定再現性:1σ≤8Å
・膜厚測定範囲:400 μm
・走査距離:最大10mm
・走査速度:2~200 μm /sec
・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec
・測定レンジ:20, 400 μm
・針圧設定範囲:1~100 mg
設備状況
稼働中

触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter)

設備ID
BA-014
設置機関
筑波大学
設備画像
触針式表面段差計
メーカー名
KLA-TENCOR (KLA-TENCOR)
型番
Alpha-Step D-500
仕様・特徴
測定長さ; 30 mm
サンプルステージ直径; 140 mm
サンプル厚さ(最大); 20 mm
垂直測定レンジ(最大);1200 μm
垂直測定分解能;0.038 nm (2.5 μm Range)
観察倍率;×1, ×1.3, ×2, ×4
設備状況
稼働中

触針式表面形状測定器(Dektak) (Stylus profilometer (Dektak))

設備ID
CT-017
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
触針式表面形状測定器(Dektak)
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
Dektak XT
仕様・特徴
・200 mmφ対応
・測定再現性 1σ=4 Å以下
設備状況
稼働中

触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system)

設備ID
GA-005
設置機関
香川大学
設備画像
触針式表面形状測定器
メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
Dektak8
仕様・特徴
測定分解能:最小:0.1nm
垂直分解能/レンジ:1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ
サンプルサイズ:直径210mm
測定長さ:50μm〜50mm
最大サンプリング数:30,000点
測定加重:1〜15mg
自動多点測定数:最高200点
サンプル観察:
トップビュー(低倍率カラー)10mm
サイドビュー(高倍率カラー)1mm
測定再現性:1nm以下
設備状況
稼働中

微細形状測定機(段差計) (Microfigure Measuring Instrument)

設備ID
HK-630
設置機関
北海道大学
設備画像
微細形状測定機(段差計)
メーカー名
株式会社 小坂研究所 (Kosaka Laboratory Ltd.)
型番
ET200A
仕様・特徴
最大サンプルサイズΦ160×厚さ52mm
再現性1σ 0.3nm以内
測定範囲Z:600μm X:100mm
分解能Z:0.1nm X:0.1μm
測定力10μN~500μN
設備状況
稼働中

触針式段差計(CR) (Stylus Profilometer)

設備ID
KT-332
設置機関
京都大学
設備画像
触針式段差計(CR)
メーカー名
Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
型番
Dektak150
仕様・特徴
(株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm~55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
設備状況
稼働中

触針式段差計(加工評価室) (Stylus Profilometer)

設備ID
KT-333
設置機関
京都大学
設備画像
触針式段差計(加工評価室)
メーカー名
Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
型番
Dektak150
仕様・特徴
(株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm~55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
設備状況
稼働中

触針式プロファイラー [Dektak XT-A #1] (Surface Profilometer [Dektak XT-A #1])

設備ID
NM-626
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
触針式プロファイラー [Dektak XT-A #1]
メーカー名
ブルカージャパン (Bruker)
型番
Dektak XT-A
仕様・特徴
・用途:段差測定
・分解能:1Å(6.5umレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・最大試料サイズ:φ8inch
・ その他:自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定
設備状況
稼働中

触針式プロファイラー [Dektak XT-A #2] (Surface Profilometer [Dektak XT-A #2])

設備ID
NM-666
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
触針式プロファイラー [Dektak XT-A #2]
メーカー名
ブルカージャパン (Bruker)
型番
Dektak XT-A
仕様・特徴
・用途:段差測定
・分解能:1Å(6.5umレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・最大試料サイズ:φ8inch
・ その他:自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定
設備状況
稼働中

微細形状測定装置 (Microfigure Measurering Instrument)

設備ID
NR-703
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
微細形状測定装置
メーカー名
小坂製作所 (Kosaka)
型番
ET200
仕様・特徴
・再現性 0.3nm以内
・分解能 Z:0.1nm X:0.1μm
設備状況
稼働中
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