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超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))
- 設備ID
- AT-506
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：JEOL (・Detector: AIST Original ・SEM: JEOL)
- 型番
- ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：JSM-IT800SHLs
- 仕様・特徴
- 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。半導体エネルギー分散型検出器、シンチレーション型反射電子検出器も搭載。試料を冷却しながらの計測も可能。大気非暴露搬送、装置内での昇華、割断、コーティングが可能。
・蛍光X線エネルギー範囲：
40 eV-4 keV（超伝導）、200 eV- 20 keV（半導体）
・エネルギー分解能：
～7 eV@400 eV X-ray（超伝導）、
＜56 eV@C-Ka （半導体）
・計数率：200 kcps
・走査型電子顕微鏡：JEOL JSM-IT800SHLs
・加速器電圧範囲：10 V-30 kV
・最大サンプルサイズ：Φ100 ㎜、Φ10 ㎜（冷却時）
・2次電子最高空間分解能：0.6 nm程度@15 kV, 1.1 nm程度@1 kV
・試料最低冷却温度：－190℃以下
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能
電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- WS-011
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- S-4800
- 仕様・特徴
- 試料サイズ最大20mm角
セミインレンズ方式による高分解能（～x600k）
EDAXによる元素分析
電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- WS-012
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- SU8240
- 仕様・特徴
- 二次電子分解能
0.8nm （加速電圧15kV、WD＝4mm、倍率270kx）
1.1nm （照射電圧1kV、WD＝1.5mm、倍率200kx）
照射電圧 0.01～30kV
倍率 20～1,000,000倍
可動範囲:X 0～110mm,Y 0～80mm,R 360°
Z 1.5～40mm,T -5～70°
IM4000形イオンミリング装置付き（サンプルの断面ミリングと平面ミリング可能）
EDS System付き（元素分析可能）
電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- WS-013
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- S5500
- 仕様・特徴
- 試料サイズ 平面5.0mmX9.5mmX3.5mmH
断面2.0mmX6.0mmX5.0mmH
倍率 ～×2M (高倍率モード)
走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope)
- 設備ID
- IT-006
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立 (Hitachi)
- 型番
- S5200
- 仕様・特徴
- 高解像度用インレンズ式高解像度用インレンズ式 加速電圧1ｋV~30kV 分解能0.5nm(30kV）~1.7nm（1kV) 倍率X100~X2000K STEMモード可
走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope)
- 設備ID
- IT-007
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立 (Hitachi)
- 型番
- S4500
- 仕様・特徴
- 電界放出型 ・冷陰極電界放出型電子銃 ・分解能：1.5 nm （加速電圧 15 kV WD=4mm） 4.0 nm （加速電圧1 kV WD=3mm) ・試料サイス:最大50 mm (直径)
低真空 SEM (SEM at low vacuum)
- 設備ID
- IT-025
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーエンス (Keyence)
- 型番
- VHX-D510
- 仕様・特徴
- レンズ：電子式超深度レンズ＋光学 倍率： 30-5000倍（垂直）、30－2000倍（傾斜）、50-500倍（光学）
観察像：2次電子 試料サイズ: Φ100 mm 5軸（XYZ+傾斜+回転） 試料室200 mm ×200 mm 試料高さ 30 mm
走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- UE-010
- 設置機関
- 電気通信大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立 (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S-4300
- 仕様・特徴
- 加速電圧: 200kV, 格子分解能: 0.1nm, 点分解能: 0.23nm, STEMモード: 0.2nm
低加速走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
- 設備ID
- JI-010
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 仕様・特徴
- 【遠隔利用可】
加速電圧：0.5-30kV（照射電圧0.01-20kV）
分解能：0.6nm at 15kV
EDX、EBSD、PD-BSE、EBIC
走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM)
- 設備ID
- JI-011
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- SAM670Xi
- 仕様・特徴
- 元素分析：原子番号3以上
最大加速電圧：25kV
走査電子ビーム径：15nm以下（加速電圧20kV、電流１nA）
エネルギー分析：0-3200 eV
超高真空