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走査型プローブ顕微鏡システム (Bioscience Atomic Force Microscope)

設備ID
KT-304
設置機関
京都大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡システム
メーカー名
JPKインスツルメンツ社 (JPK Instruments AG)
型番
NanoWizard III
仕様・特徴
大気中または液体中でのAFM計測
AFM測定と光学測定を同時実行可能
・NW3-XS-0ほか

卓上顕微鏡(SEM) (Tabletop SEM)

設備ID
KT-325
設置機関
京都大学
設備画像
卓上顕微鏡(SEM)
メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
型番
TM3000
仕様・特徴
簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。低真空観察法により、帯電しやすい試料でも金属コーティングをせず、そのまま観察ができます。
・倍率 15~30,000倍
・試料最大寸法 Φ70mm

モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 (Monochromated atomic resolution analytical electron microscope)

設備ID
KT-403
設置機関
京都大学
設備画像
モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F
仕様・特徴
照射系と結像系に球面収差補正装置を搭載し、電子銃にはモノクロメータが組み込まれた高エネルギー分解能原子直視型分析電子顕微鏡。分析機能はEELSとEDSを装備。
・加速電圧:200kV、60kV
・電子銃:ショットキー型
・TEM分解能:0.1nm
・STEM分解能:0.08nm
・エネルギー分解能:0.03eV
・分析機能:EELS、EDS

マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)

設備ID
KU-003
設置機関
九州大学
設備画像
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置
メーカー名
日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
型番
Zeiss-ULTRA55 + SII-TES
仕様・特徴
超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析

デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)

設備ID
KU-005
設置機関
九州大学
設備画像
デュアルビームFIB-SEM加工装置
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
FEI Quanta 200 3D
仕様・特徴
観察+FIB加工、マイクロサンプリング

直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)

設備ID
KU-006
設置機関
九州大学
設備画像
直交型FIB-SEM
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
MI4000L
仕様・特徴
直交型FIB-SEM、3次元組織解析

三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)

設備ID
KU-011
設置機関
九州大学
設備画像
三次元走査電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Scios DualBeam
仕様・特徴
3次元組織解析

デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 (Dual beam FIB-SEM)

設備ID
KU-012
設置機関
九州大学
設備画像
デュアルビーム微細加工電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Versa3D DualBeam
仕様・特徴
観察+FIB加工、マイクロサンプリング

キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM)

設備ID
KU-013
設置機関
九州大学
設備画像
キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Helios 5 Hydra DualBeam
仕様・特徴
イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析

走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
KU-510
設置機関
九州大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡装置群
メーカー名
島津製作所、エスアイアイ・ナノテクノロジー (Shimazu, Seiko Instruments)
型番
SPM9600, SPI3800N
仕様・特徴
【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード :コンタクト、ダイナミック、位相
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡:SPI3800N】
・環境:大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120~250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.
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