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卓上顕微鏡(SEM) (Tabletop SEM)
- 設備ID
- KT-325
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
- 型番
- TM3000
- 仕様・特徴
- 簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。低真空観察法により、帯電しやすい試料でも金属コーティングをせず、そのまま観察ができます。
・倍率 15～30,000倍
・試料最大寸法 Φ70mm
- 設備状況
- 稼働中
デュアルビーム走査電子顕微鏡 (Dual Beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KT-408
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4700F
- 仕様・特徴
- 1.SEM装置(0.1～30kV)
2.FIB装置(1～30kV)
3.EDS検出器
4.EBSD検出器
5.クライオステージ
6.WとCのガス吹付装置
- 設備状況
- 稼働中
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)
- 設備ID
- KU-003
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- Zeiss-ULTRA55 ＋ SII-TES
- 仕様・特徴
- 超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析(10eV@6KeV)、SDD(150mm2)検出器による組成・状態分析
- 設備状況
- 稼働中
デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-005
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- FEI Quanta 200 3D
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
- 設備状況
- 稼働中
直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-006
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- MI4000L
- 仕様・特徴
- 直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
- 設備状況
- 稼働中
三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-011
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Scios DualBeam
- 仕様・特徴
- 3次元組織解析
- 設備状況
- 稼働中
デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-012
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Versa3D DualBeam
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
- 設備状況
- 稼働中
キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-013
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Helios 5 Hydra DualBeam
- 仕様・特徴
- イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析
- 設備状況
- 稼働中
イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置 (Precise Sample Preparation and Analysis System Combining Ion Beam and Electron Beam)
- 設備ID
- KU-018
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Helios 5 UX
- 仕様・特徴
- FIBによる電顕試料の調製、モノクロメータSEMによる形態観察、EBSDによる方位解析、自動試料作製
- 設備状況
- 稼働中
走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- KU-510
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 島津製作所、エスアイアイ・ナノテクノロジー (Shimazu, Seiko Instruments)
- 型番
- SPM9600, SPI3800N
- 仕様・特徴
- 【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード ：コンタクト、ダイナミック、位相
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡：SPI3800N】
・環境：大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120～250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.
- 設備状況
- 稼働中