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走査型プローブ顕微鏡 （SPM) (Scanning probe microscope (SPM))
- 設備ID
- CT-009
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- MultiMode 8J
- 仕様・特徴
- ・大気中、液中イメージングが可能
・ナノ機械特性（弾性率、吸着力）、ナノ電気特性（表面電位、導電性）の測定が可能
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡（SEM） (Scanning electron microscope (SEM))
- 設備ID
- CT-010
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- TM4000Plus
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：5、10、15 ｋV
・倍率：10~100,000倍
・装備オプション：EDS、UVD、カメラナビゲーションシステム
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） (Field emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- CT-011
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7800F
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.01~30 kV
・倍率： 25~1,000,000倍
・装備オプション：EDS、STEM、BED、USD、低真空システム
- 設備状況
- 稼働中
透過型電子顕微鏡（TEM） (Transmission electron microscope (TEM))
- 設備ID
- CT-012
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- H-7600
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：120 kV
・冷却フォルダー（-120 ℃）
- 設備状況
- 稼働中
ミクロトーム/クライオミクロトーム (Microtome/Cryo-microtome)
- 設備ID
- CT-013
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ライカ マイクロシステムズ (Leica Microsystems)
- 型番
- ULTRACUT UCT
- 仕様・特徴
- ・クライオスタット付きのため凍結状態での薄切可能
- 設備状況
- 稼働中
断面試料作製装置（クロスセクションポリッシャ） (Specimen preparation equipment (CROSS SECTION POLISHER))
- 設備ID
- CT-014
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- IB-09010CP
- 仕様・特徴
- ・イオン加速電圧：2~6 kV
・イオンビーム径：500 μm
・ミリングスピード：100 μm/h
・最大搭載試料サイズ：11 mm(幅) x 10 mm(長さ) x 2 mm(厚さ)
・使用ガス：アルゴンガス
- 設備状況
- 稼働中
X線小角散乱装置（SAXS) (Small and wide angle X-ray scattering instrument (SAXS))
- 設備ID
- CT-016
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- リガク (Rigaku)
- 型番
- Nano-Viewer
- 仕様・特徴
- ・測定可能範囲：0.2~100 nm
- 設備状況
- 稼働中
触針式表面形状測定器（Dektak） (Stylus profilometer (Dektak))
- 設備ID
- CT-017
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- Dektak XT
- 仕様・特徴
- ・200 mmφ対応
・測定再現性 1σ=4 Å以下
- 設備状況
- 稼働中
液晶配向膜ラビング装置 (Rubbing device for liquid crystal alignment films)
- 設備ID
- CT-018
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本文化精工 (Nippon Bunkaseiko)
- 型番
- 仕様・特徴
- ・真空吸着テーブルサイズ（50 x 50 mm）
・ラビングローラー回転速度可変<1,000 rpm
・テーブル移動速度調節可
・真空吸着テーブルθ調整機構付き
- 設備状況
- 稼働中
リアクティブエッチング装置 (Reactive ion etching system)
- 設備ID
- CT-019
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (Samco)
- 型番
- RIE-10NR
- 仕様・特徴
- ・高い選択比と高精度のエッチングが可能
・全自動運転
・φ8インチウェハーの加工が可能
- 設備状況
- 稼働中