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FE-SEM+EDX [S-4800] (FE-SEM+EDX [S-4800])

設備ID
NM-647
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [S-4800]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
S-4800
仕様・特徴
・加速電圧:0.5~30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能:1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:6インチ
・付加機能:EDX

FE-SEM+EDX [SU8000] (FE-SEM+EDX [SU8000])

設備ID
NM-648
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [SU8000]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
SU8000
仕様・特徴
・加速電圧: 0.5~30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能:1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:4インチ
・付加機能:EDX

FE-SEM+EDX [SU8230] (FE-SEM+EDX [SU8230])

設備ID
NM-649
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [SU8230]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
SU8230
仕様・特徴
・加速電圧: 0.5~30kV ,
・最大倍率:1,000k
・検出器:SE/BSE
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:6インチ
・付加機能:EDX

卓上電子顕微鏡 [TM3000] (Tabletop SEM+EDX [TM3000])

設備ID
NM-650
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
TM3000
仕様・特徴
・加速電圧: 5, 15kV ,
・検出器:BSE
・最大倍率: 10k
・最大試料サイズ:70mmΦ
・付加機能:EDX

走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] (SPM [L-trace])

設備ID
NM-651
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
メーカー名
株式会社日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science Corporation)
型番
L-trace
仕様・特徴
・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲:水平100 x 100 um
・最大試料サイズ: 6インチφ
・付加機能:I-V測定及びマッピング

走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] (SPM [Nanoscope5])

設備ID
NM-652
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]
メーカー名
ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
型番
Nanoscope5
仕様・特徴
・測定モード: Contact AFM , Tapping AFM , MFM, Liquid-phase AFM
・走査範囲:17μ または 1.3μ

表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置 (Atomic Force Microscope System for Surface Dynamics)

設備ID
NR-706
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard ULTRA Speed 2
仕様・特徴
・測定環境:大気中、液中
・最大撮影速度:10 frames/sec
・最大走査範囲:水平300μm×垂直300μm
・動作モード:コンタクトモード、ピークフォースタッピング(QIモード)、ACモード、フォースカーブマッピングモード
・温度制御範囲:室温~+300℃(高温加熱ステージ利用時)、-30~120℃(加熱冷却モジュール利用時)

走査電子顕微鏡(SEM) (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
RO-527
設置機関
広島大学
設備画像
走査電子顕微鏡(SEM)
メーカー名
日本電子 (JEOL Ltd.)
型番
JSM-IT800
仕様・特徴
ショットキー電界放出型電子銃,10V~30kV、
最高分解能0.5nm,

高分解能3次元X線顕微鏡 (3D X-ray Microscope)

設備ID
SH-012
設置機関
信州大学
設備画像
高分解能3次元X線顕微鏡
メーカー名
ツァイス (Zeiss)
型番
Xradia 620 Versa
仕様・特徴
空間分解能500 nm 最小ボクセルサイズ40 nm
X線出力最大25 W(加速電圧30-160 kV)

測長SEM (CD-SEM)

設備ID
TU-317
設置機関
東北大学
設備画像
測長SEM
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
CS4800
仕様・特徴
6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送
計測再現性:1nm(3σ)
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