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電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] (Field Emission SEM〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕)
- 設備ID
- AT-004
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
![電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]](data/facility_item/1651474199_14.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S4800
- 仕様・特徴
- ・型式:S-4800
・試料サイズ:15～150 mmφ
・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
・加速電圧:0.5～30 kV
・分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
・試料ステージ制御:5軸モーター制御
・可動範囲:X,Y:0～110 mm、Z:1.5～40 mm、R:360°、T:-5～70°
・検出器:2次電子検出器、エネルギー分散型X線検出器（EDX）
- 設備状況
- 稼働中
低真空走査電子顕微鏡 (Low Vacuum SEM (HITACHI))
- 設備ID
- AT-005
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S-3500N
- 仕様・特徴
- ・型式:S-3500N（日立ハイテク）
・試料サイズ:15～150 mmφ
・電子銃:熱電子放出型Wヘアピンフィラメント
・加速電圧:0.3～30 kV
・分解能:高真空二次電子像:3.0 nm
・低真空反射電子像:5 nm
・低真空モードでの真空度設定:1～270 Pa
・試料ステージ:五軸モーター駆動
・可動範囲:100 mm×50 mm
・元素分析:エネルギー分散型X線検出器（EDX）
- 設備状況
- 稼働中
3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス） (3 Dimensional Field Emission SEM)
- 設備ID
- AT-107
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- エリオニクス (ELIONIX)
- 型番
- ERA-9200
- 仕様・特徴
- ・型式:ERA-9200
・試料サイズ:4インチφ, 16mmt
・電子銃:ZrO/W熱電界放射型
・加速電圧:1～30 kV
・リタ―ディング電圧:3kV
・分解能:0.4nm以下（30kV）、0.5nm以下（15kV）、0.7nm以下（1kV）
・可動範囲:30×50mm（X-Y）、1～30mm（Z）、-5～45°（Tilt）
・検出器:2次電子検出器（４本）
- 設備状況
- 稼働中
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))
- 設備ID
- AT-506
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：JEOL (・Detector: AIST Original ・SEM: JEOL)
- 型番
- ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：JSM-IT800SHLs
- 仕様・特徴
- 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。半導体エネルギー分散型検出器、シンチレーション型反射電子検出器も搭載。試料を冷却しながらの計測も可能。大気非暴露搬送、装置内での昇華、割断、コーティングが可能。
・蛍光X線エネルギー範囲：
40 eV-4 keV（超伝導）、200 eV- 20 keV（半導体）
・エネルギー分解能：
～7 eV@400 eV X-ray（超伝導）、
＜56 eV@C-Ka （半導体）
・計数率：200 kcps
・走査型電子顕微鏡：JEOL JSM-IT800SHLs
・加速器電圧範囲：10 V-30 kV
・最大サンプルサイズ：Φ100 ㎜、Φ10 ㎜（冷却時）
・2次電子最高空間分解能：0.6 nm程度@15 kV, 1.1 nm程度@1 kV
・試料最低冷却温度：－190℃以下
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能
- 設備状況
- 稼働中
電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- BA-008
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU-8020
- 仕様・特徴
- 二次電子分解能；1.0nm（加速電圧15kV,WD=4mm） 1.3nm（照射電圧1kV,WD=1.5mm）
照射電圧；0.1～30kV
低倍率モード；20～2,000倍（写真倍率）
高倍率モード；100～800,000倍（写真倍率）
SE/BSE信号可変方式
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡（SEM） (Scanning electron microscope (SEM))
- 設備ID
- CT-010
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- TM4000Plus
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：5、10、15 ｋV
・倍率：10~100,000倍
・装備オプション：EDS、UVD、カメラナビゲーションシステム
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） (Field emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- CT-011
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7800F
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.01~30 kV
・倍率： 25~1,000,000倍
・装備オプション：EDS、STEM、BED、USD、低真空システム
- 設備状況
- 稼働中
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- GA-013
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子, 日本電子, 日本電子, ディエナー (JEOL, JEOL, JEOL, diener)
- 型番
- JSM-IT800SHL, JCM-7000, JFC-3000FC, Femto
- 仕様・特徴
- ・JSM-IT800SHL
サンプルサイズ：～φ100mm
分解能：0.7nm(20kV)1.3nm(1kV)
倍率：×27～5,480,000(表示倍率)
加速電圧：0.01～30kV
分析機能：EDS
・JCM-7000
サンプルサイズ：～φ25mm(傾斜回転有)～φ80mm(傾斜回転無)
倍率：×10～100,000
加速電圧：5kV、10kV、15kV(3段)
- 設備状況
- 稼働中
オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope)
- 設備ID
- HK-202
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JAMP-9500F
- 仕様・特徴
- 加速電圧:0.5～30kV、プローブ電流:10-11～2×10-7A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定(TSLソリューションズ ORION検出器)
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形走査電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- HK-302
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-6500F
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1kV～30kV
分析機能：EDS, EBSD
- 設備状況
- 稼働中