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リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )
- 設備ID
- AT-504
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- (1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII（現・日立ハイテクサイエンス） ((1) RSPM1: JEOL, (2) RSPM2: SII (Hitachi Hitech Scinece))
- 型番
- (1) RSPM1:日本電子(JEOL)社製JSPM5400、(2) RSPM2:SIIナノテクノロジー（現・日立ハイテクサイエンス）社E-SWEEP/S-Image
- 仕様・特徴
- (1) RSPM1
分光（赤外）原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: NEA SNOM
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、高分解能赤外分光
・測定環境: 大気中
・試料サイズ:（10mm角）や厚さの制限有
・空間分解能<100nmのナノ赤外分光（Nano-FTIR）
(2) RSPM2
E-SWEEP/NEX(高速原子間力顕微鏡)
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10E-5[Torr])
・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大15 mm角程度
・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム）
前処理装置等
・標準試料: 探針評価、スケール、段差等
・付帯設備
研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト、フーリエ赤外分光計（ATRのみ）、レーザードップラー干渉計（カンチレバーのばね定数校正）
- 設備状況
- 稼働中
電界放射型分析電子顕微鏡 (Analytical FEG-TEM)
- 設備ID
- HK-102
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-2010F
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：200kV
・TEM分解能：0.23nmn
・熱電界放出電子銃
・分析機能：EDS、EELS
・遠隔観察
- 設備状況
- 稼働中
マルチビーム超高圧電子顕微鏡 (Multi-Beam HVEM)
- 設備ID
- HK-103
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- ARM-1300
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：1250kV
・TEM分解能：0.12nmn
・LaB6熱電子銃
・300K、400Kイオン加速器
・ナノ秒パルスレーザー
・He-Cd CWレーザー
・フェムト秒レーザー
・CCD分光器
・遠隔観察
- 設備状況
- 稼働中
環境セル対応透過電子顕微鏡 (Transmission electron microscope for Environmental cell (E-TEM))
- 設備ID
- HK-301
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-2010
- 仕様・特徴
- 加速電圧：200kV
分析機能：EDS
環境セル加熱ホルダー装備
- 設備状況
- 稼働中
収差補正走査型透過電子顕微鏡 (Cs-corrected scanning transmission electron microscope)
- 設備ID
- HK-401
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-ARM200F
- 仕様・特徴
- 加速電圧：80kV,200kV
ColdFEG
EDS,EELS
大気非暴露・冷却試料ホルダー
遠隔観察
- 設備状況
- 稼働中
電子分光型超高圧分析電子顕微鏡 (1300 kVHigh Voltage Electron Microscope )
- 設備ID
- KU-001
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-1300NEF
- 仕様・特徴
- オメガ型エネルギーフィルター搭載の超高圧電顕、最高加速電圧1300kV、電子線トモグラフィ、レーザーパルス光照射、その場観察、冷却・加熱引張試験
- 設備状況
- 稼働中
収差補正走査/透過電子顕微鏡 (Cs corrected scannning transmission electron microscope )
- 設備ID
- KU-002
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-ARM200F
- 仕様・特徴
- 照射系・結像系の収差補正、EDS/EELSによる高感度組成・状態分析
- 設備状況
- 稼働中
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)
- 設備ID
- KU-003
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- Zeiss-ULTRA55 ＋ SII-TES
- 仕様・特徴
- 超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析(10eV@6KeV)、SDD(150mm2)検出器による組成・状態分析
- 設備状況
- 稼働中
収差補正高分解能電子顕微鏡 (Cs corrected atomic resolution electron microscope )
- 設備ID
- KU-007
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-ARM200F
- 仕様・特徴
- 走査歳差運動照射電子回折SPEDによる結晶方位解析
- 設備状況
- 稼働中
ハイコントラスト補助電子顕微鏡 (Conventional high contrast electron microscope)
- 設備ID
- KU-009
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-2100HCKM
- 仕様・特徴
- 組織観察/電子解析図形収集の汎用機、加速電圧：100,120,200ｋV、CMOSカメラ(4K)
- 設備状況
- 稼働中