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電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA))

設備ID
HK-303
設置機関
北海道大学
設備画像
電界放出形電子プローブマイクロアナライザー
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8530F
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:WDS
設備状況
稼働中

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) (Electron Probe Micro Analyzer)

設備ID
MS-236
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8230 SS-94000SXES 軟X線分光器搭載
仕様・特徴
50 eVまでの低エネルギーを測定できる軟X線分光器(SXES)を搭載。
設備状況
稼働中

電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 (Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA))

設備ID
NM-207
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8500F
仕様・特徴
・電界放出形電子銃
・加速電圧:1~30 kV
・照射電流:10 pA ~500 nA
・測定可能元素:Be~U
・最大試料サイズ:100 x 100 x 20 mm
設備状況
稼働中

リモート対応型電子線マイクロアナライザー (Remote-controlled electron probe microanalyzer)

設備ID
SH-010
設置機関
信州大学
設備画像
リモート対応型電子線マイクロアナライザー
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-iHP200F
仕様・特徴
2次電子分解能 2.5nm
分析元素B~U
WDS:5基、EDS1基
最大試料100mm×100mm×50mm
加速電圧1~30kV
設備状況
稼働中

電子線元素状態分析装置 (Electron Probe Micro Analyzer)

設備ID
UE-011
設置機関
電気通信大学
設備画像
電子線元素状態分析装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8530F
仕様・特徴
固体試料表面の元素分析
・分析元素範囲 WDS: B~U、EDS: B~U
・二次電子分解能 3 nm (WD=11 mm、30 kV)
・分析条件最小プローブ径:40 nm (10 kV、1x1x10-8 A)
・走査倍率:x 40~ x 300,000 (WD=11 mm)
設備状況
稼働中
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