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共用設備検索結果

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現像ドラフト (Draft chamber for development)

メーカー名
- (-)
型番
-
設備画像
現像ドラフト
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

スピン乾燥機 (Spin dryer)

メーカー名
東邦化成 (Toho Kasei)
型番
ZAA-4
設備画像
スピン乾燥機
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~7インチ

コータデベロッパ (Coater developer)

メーカー名
Suss (Suss)
型番
ACS200Gen3
設備画像
コータデベロッパ
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:2~8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット

プラズマクリーナー (Plasma cleaner)

メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
PDC210
設備画像
プラズマクリーナー
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
基板固定方式:静置(温度制御不可)
プラズマ方式:CCP、バレル式
ガス:O2、Ar

アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)

メーカー名
アルバック (Ulvac)
型番
UNA-2000
設備画像
アルバック アッシング装置
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式:CCP(2.45GHz)
ガス:O2、H2フォーミングガス

ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)

メーカー名
ブランソン (Branson)
型番
IPC4000
設備画像
ブランソン アッシング装置
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
サンプルは石英治具に載せる
プラズマ方式:バレル式
ガス:O2

EVG プラズマ活性化装置 (EVG plasma activation)

メーカー名
EVG (EVG)
型番
810
設備画像
EVG プラズマ活性化装置
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
ガス:N2、O2、Ar

サンドブラスト (Sand bluster)

メーカー名
新東 (Shinto)
型番
-
設備画像
サンドブラスト
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
砥粒:アルミナ、粒径14μm程度

エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)

メーカー名
デアネヒステ (Dernaechste)
型番
EXC-1201-DN
設備画像
エキシマ洗浄装置
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~4インチ
ガス:O2

クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps)

メーカー名
 ()
型番
設備画像
クリーンドラフト潤沢超純水付
設置機関
東京大学
仕様・特徴
化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」
クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、
クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台。
全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。
窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。
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