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共用設備検索結果

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コータデベロッパ (Coater developer)

設備ID
TU-062
設置機関
東北大学
設備画像
コータデベロッパ
メーカー名
Suss (Suss)
型番
ACS200Gen3
仕様・特徴
サンプルサイズ:2~8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット

クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps)

設備ID
UT-800
設置機関
東京大学
設備画像
クリーンドラフト潤沢超純水付
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」
クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、
クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台。
全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。
窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。

高圧ジェットリフトオフ装置 ((High Pressure Jet Lift-off Equipment)

設備ID
AT-092
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
高圧ジェットリフトオフ装置
メーカー名
カナメックス (Kanamex)
型番
KLO-150CBU
仕様・特徴
・型式:KLO-150CBU
・試料サイズ:小片20mm□~150mmφ
・回転数:0~2000rpm
・NMP処理温度:80℃

洗浄ドラフト一式 (Clean draft chambers)

設備ID
TT-008
設置機関
豊田工業大学
設備画像
洗浄ドラフト一式
メーカー名
東朋テクノロジー (Toho Technology Co.)
型番
特注
仕様・特徴
シリコン専用および化合物半導体専用のドラフト群
小型~太陽電池156mm角基板等
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