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共用設備検索結果

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水蒸気プラズマ洗浄装置 (Water Vapor Plasma Cleaner)

メーカー名
サムコ (Samco)
型番
AQ-500
設備画像
水蒸気プラズマ洗浄装置
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・用途:洗浄・還元・灰化・接合・親水化
・高周波出力:50-250W
・反応ガス:H2O,O2
・最大試料サイズ:φ8 inch
・その他:自動運転プログラム

UVオゾンクリーナー (UV Ozone Cleaner)

メーカー名
サムコ (samco)
型番
UV-1
設備画像
UVオゾンクリーナー
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・用途:基板クリーニング,表面改質
・光源:紫外線ランプ (184.9nmおよび253.7nm)
・オゾンジェネレータ:無声放電方式高濃度オゾナイザー
・ステージ温度:室温~300度
・最大試料サイズ:φ8 inch

高圧ジェットリフトオフ装置 (Lift-off System)

メーカー名
カナメックス (KANAMEX)
型番
KLO-150CBU
設備画像
高圧ジェットリフトオフ装置
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・用途:リフトオフ、レジスト剥離
・レジスト膨潤:80℃ NMP溶液
・レジスト剥離:高圧ジェットNMP溶液
・リンス:IPA, 純水
・乾燥:スピン乾燥、N2ブロー
・最大試料サイズ:φ6inch

エッチングチャンバー (Draft chamber)

メーカー名
アズワン (As one)
型番
PSH1200
設備画像
エッチングチャンバー
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)

メーカー名
 ()
型番
設備画像
有機ドラフトチャンバー
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

スピン乾燥機 (Spin dryer)

メーカー名
東邦化成 (Toho Kasei)
型番
ZAA-4
設備画像
スピン乾燥機
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ

4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)

メーカー名
SEMITOOL (SEMITOOL)
型番
PSC101
設備画像
4スピン乾燥機
設置機関
東北大学
仕様・特徴
カセット式で1度に25枚まで処理可能

6スピン乾燥機 (6 Spin dryer)

メーカー名
SEMITOOL (SEMITOOL)
型番
PSC101
設備画像
6スピン乾燥機
設置機関
東北大学
仕様・特徴
カセット式で1度に25枚まで処理可能

ブラシスクラバ (Brush scrubber)

メーカー名
全協化成 (Zenkyo)
型番
特注
設備画像
ブラシスクラバ
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ

スプレー現像装置 (Spray developer)

メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ADE-3000S
設備画像
スプレー現像装置
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:3~6インチ
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