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水蒸気プラズマ洗浄装置 (Water Vapor Plasma Cleaner)
- メーカー名
- サムコ (Samco)
- 型番
- AQ-500
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途：洗浄・還元・灰化・接合・親水化
・高周波出力：50-250W
・反応ガス：H2O,O2
・最大試料サイズ：φ8 inch
・その他：自動運転プログラム
UVオゾンクリーナー (UV Ozone Cleaner)
- メーカー名
- サムコ (samco)
- 型番
- UV-1
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途：基板クリーニング，表面改質
・光源：紫外線ランプ （184.9nmおよび253.7nm）
・オゾンジェネレータ：無声放電方式高濃度オゾナイザー
・ステージ温度：室温～300度
・最大試料サイズ：φ8 inch
高圧ジェットリフトオフ装置 (Lift-off System)
- メーカー名
- カナメックス (KANAMEX)
- 型番
- KLO-150CBU
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途：リフトオフ、レジスト剥離
・レジスト膨潤：80℃ NMP溶液
・レジスト剥離：高圧ジェットNMP溶液
・リンス：IPA, 純水
・乾燥：スピン乾燥、N2ブロー
・最大試料サイズ：φ6inch
